eds元素分析-eds图像.doc

-
. z.
EDS元素分析
实验目的
〔EDS〕的构造和工作原理。
〔EDS〕的分析方法、特点及应用。
实验原理
在现代的扫描电镜和透数设置。
〔2〕面分布图像采集参数设置
单击采集工具栏中的采集参数设置按钮 ，翻开采集参数设置对话框，进展设置。
-
. z.
2 、采集过程
单击采集工具栏中的采集按钮，进展电镜图像的采集和面分布采集。
3 、提取所需信息
(1)在提取工具栏中选择一种提取工具，在电镜图像上确定提取区域，即可获得提取信息。
(2)对于Spot 圆圈和Linescan 线提取方式，可以进展参数设置。方法是：在电镜图像上右击鼠标，在弹出的对话框中选中Image E*tract 图像提取选项卡。在这里可以设置圆圈半径、线宽度及线上的取样点数。
线扫描
〔1〕在线扫描图像上右击鼠标，在弹出的对话框中，可以改变标题名称、改变背风光、选择线扫描线的显示方式、是否显示光标、是否显示栅格、是否使用粗线条等。
〔2〕如想去除*个元素的线扫描，在元素周期表中右击该元素后选择Inactive。
〔3〕在电镜图像和线扫描图像上都使用图像强度光标。当移动*一个光标时，另一个光标也随之移动。电镜图像上的光标指示出当前光标所在位置的横、纵坐标及灰度值；线扫描图像上的光标指示出当前光标所在位置的*一元素的计数值。
〔4〕将*一元素的线扫描图像叠加在电镜图像上显示：单击线扫描图像下的该元素标签，即可叠加/不叠加显示该元素的线扫描图像。叠加属性可按如下方式修改：
单击菜单“EditProperties〞，并选择Linescan Overlay 选项卡，如下列图所示。
面分布
(1)在面分布图像上右击鼠标，在弹出的对话框中，可以改变光标颜色、是否显示光标、是否叠加于电镜图像上，改变面分布颜色、面分布比照度亮度等。
(2)如想去除*个元素的面分布，在元素周期表中右击该元素后选择Inactive。
(3)在电镜图像和面分布图像上都使用图像强度光标。当移动*一个光标时，另一个光标也随之移动。电镜图像上的光标指示出当前光标所在位置的横、纵坐标及灰度值；面分布图像上的光标指示出当前光标所在位置的*一元素的计数值。
(4)将*一面分布图像叠加在电镜图像上显示：单击面分布图像上的元素标签，即可叠加/不叠加显示该面分布图像。
实验完成后，将所需的扫描图像保存。
实验结果及讨论
分别对ZnO压敏断面进展点分析，线分析，面分析。
首先截取所选的分析图样，如下列图所示
〔1〕点分析
首先对样品进展全谱分析：从图中可以读取到该样品中含有Zn、O等元素，其中Zn的含量最高，其它依次是O及其他元素。对应误差从表格中读取
Live Time: sec.
-
. z.
Detector: Pioneer
Quantitative Results Base
O K

+/-