电子显微镜7738333534
与旋转弯曲电场对电子束有聚焦作用类似,旋转对称磁场对电子束也有类似的会聚作用
电子受力分析
电子显微镜
热阴极发射:在外场作用下,被加热到很高温度的金属或某些化合物会发射电子,即热电子电子显微镜7738333534
与旋转弯曲电场对电子束有聚焦作用类似,旋转对称磁场对电子束也有类似的会聚作用
电子受力分析
电子显微镜
热阴极发射:在外场作用下,被加热到很高温度的金属或某些化合物会发射电子,即热电子发射。
阴极材料应具有尽可能高的熔点和低的逸出功
W,Ta 钽 ,Re铼 和 LaB6六硼化镧
第二章 电子显微镜
电镜结构:真空系统
镜筒内必须保持高真空
电子束与空气分子碰撞、高压放电、灯丝氧化、试样污染
避免
真空度:10-3~10-4Pa
真空系统:机械泵+分子泵或扩散泵
机械泵:前级泵,10-1Pa,热电偶真空计
分子泵:高真空泵,10-4Pa,电离真空计
透射电镜应用
透射电镜应用
透射电镜应用
第二章 电子显微镜
第十一节 扫描电子显微镜(SEM)主体结构
扫描电子显微镜(SEM)试样制备
电荷积累,对不导电物体镀导电膜,
用导电胶将样品粘在样品架上。
300
700
SEM micrograph of a micromachine
铝铜合金像: 亮的为铝, 暗的为铜, 背散射电子像
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