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厂务巡检及安全管理制度

设备巡检是保证设备运行的一项重要的监控措施,设备人员应严格按照巡检制度进行定时的巡检,保证设备的正常运行。
,不得早抄,假抄,补抄,以及故意写虚假数值,要确保数据的真实性。
;这样才能发现设备的异常情况;
,若发现设备运行存在问题,或异常,立即采取措施,如果自己不能解决应立即上报主管。
,带好防护装置,不得随意动设备,防止坠落,砸伤,冻伤,电击等危险发生。
,不得随意乱扔,乱丢,以防丢失。

特气(单位:Psi)
NH3
SiH4
CF4
低压
高压
低压
高压
低压
高压
50≤x≤55
80≤x≤160
50≤x≤60
120≤x≤1300
40≤x≤45
100≤x≤1500
液氮、液氧(单位:MPa)
液氮
液氧
高纯氮
低压
低压
低压
高压
≤x≤
≤x≤
50Psi≤x≤80 Psi
100Psi≤x≤1500 Psi
中央空调
冷冻水入水温度
冷冻水出水温度
冷却水出水温度
压机排气温度
≤28℃
7℃≤x≤13℃
≤38℃
≤80℃
系统高压
系统低压
冷冻水压
≤
≤
--
风冷机组
冷冻水入水温度
冷冻水出水温度
冷却水出水温度
压机排气温度
≤28℃
≥15℃
≤38℃
≤80℃
系统高压
系统低压
冷冻水压
≤
≤
--
空压机
精密过滤器压差
空压机机头温度
空压机出气压力
△P≤
T2≤110℃
≤x≤
纯水系统
一级RO
入口压力-浓水压力
电导率
回收率
x≥
x(us/cm)<10
x>75%
二级RO
入口压力-浓水压力
电导率
回收率
x≥
x(us/cm)<5
x>85%
EDI系统
淡水入口压力-淡水出口压力
浓水入口压力-浓水出口压力
淡水进口压力-浓水进口压力
≤x≤
≤x≤
X<
淡水出口压力-浓水出口压力
产水电阻
EDI回收率
x<
x>
x>85%
抛光混床
产水电阻
x>


名称
数量
单位
用途
地点
备注
喷淋系统
1
套
灭火
七厂特气房
灭火器
16
个
灭火
七厂特气房
灭火器
14
个
灭火
七厂机房
灭火器
12
个
灭火
七厂纯水房
灭火器
41
个
灭火
七厂夹层
报警铃
2
个
紧急报警
七厂特气房
消防带
1
套
灭火
七厂特气房
灭火器
4
个
灭火
七厂废水站