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材料的现代分析测试方法 第一章 扫描电子显微镜(SEM) 第一节 概述
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第二节 电子束与固体样品 相互作用
设计年终工作总结
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一．背散射电子
二．二次电子
三．吸收电子
四．透射电子
演讲人姓名
特征Ｘ射线
01
俄歇电子
02
阴极荧光
03
电子束感生电效应
电子束感生电导信号
电子束感生电压信号
04
第三节 SEM工作原理
第四节 SEM的构造
组成: 电子枪, 电磁聚光镜, 光阑,
01
01
02
03
04
05
样品室等.
作用: 用来获得扫描电子束, 作为
使样品产生各种物理信号的
激发源.
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光阑
电子枪
样品室
聚光镜(电磁透镜)
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