该【硅铝锌三元合金精炼去除多晶硅中B杂质研究 】是由【niuww】上传分享,文档一共【3】页,该文档可以免费在线阅读,需要了解更多关于【硅铝锌三元合金精炼去除多晶硅中B杂质研究 】的内容,可以使用淘豆网的站内搜索功能,选择自己适合的文档,以下文字是截取该文章内的部分文字,如需要获得完整电子版,请下载此文档到您的设备,方便您编辑和打印。硅铝锌三元合金精炼去除多晶硅中B杂质研究 摘要 硅铝锌三元合金精炼技术在多晶硅生产中具有重要的意义。本研究以多晶硅中的B杂质为研究对象,通过对硅铝锌三元合金的合成、制备以及加入多晶硅后的精炼过程的控制,成功地去除了多晶硅中的B杂质。本研究结果表明,硅铝锌三元合金精炼技术可以有效地去除多晶硅中的杂质,具有很大的应用前景。 关键词:硅铝锌三元合金,多晶硅,杂质去除,精炼技术 Abstract The refining technique of silicon-aluminum-zinc ternary alloy has significant importance in the production of polysilicon. In this study, B impurities in polysilicon were investigated. By controlling the synthesis, preparation, and refining process of the silicon-aluminum-zinc ternary alloy after adding it to the polysilicon, B impurities in the polysilicon were successfully removed. The results of this study showed that the refining technique of silicon-aluminum-zinc ternary alloy could effectively remove impurities in polysilicon and had great application prospects. Keywords: silicon-aluminum-zinc ternary alloy, polysilicon, impurity removal, refining technique 引言 随着电子工业的迅猛发展,多晶硅的需求量日益增加。然而,多晶硅中存在着一定的杂质,特别是B杂质的存在严重影响多晶硅的电子性能。因此,去除多晶硅中的B杂质具有重要意义。 硅铝锌三元合金是一种优良的制备多晶硅的材料,通过对硅铝锌三元合金的控制,可以有效地去除多晶硅中的B杂质。本研究旨在探讨硅铝锌三元合金在多晶硅中的应用及其去除多晶硅中B杂质的效果及机理,以期为多晶硅材料的高效制备提供技术支持。 实验部分