扫描电镜sem培训.ppt

扫描电镜 SEM培训PPT课件
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SEM的特点和工作原理
扫描电镜成像的物理信号
扫描电镜的构造
扫描电镜的主要性能
SEM像衬度
样品制备
SEM应用举例
重点
分辨率
放大倍数
衬度
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SEM的特点和工作原理◆ 1、特点◆ 1965年第一台商用SEM问世;◆ SEM能弥补透射电镜样品制备要求很高的缺点; ◆景深大; ◆放大倍数连续调节,范围大; ◆分辨率比较高;
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样品制备非常方便; ◆可直接观察大块试样;◆固体材料样品表面和界面分析;◆适合于观察比较粗糙的表面、材料断口和显微组织三维形态;◆对试样的电子损伤小。
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日本电子株式会社
JSM-6460系列  高分辨率扫描电子显微镜(JEOL)
高真空模式分辨率:  、 30KV   低真空模式分辨率:  、 30KV 放大倍数: ×5~×300,000
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2、扫描电镜主要功能:
◆表(界)面形貌分析;
◆配置各种附件,做表面成分分析及表层晶体学位向分析等。
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3、成像原理
扫描电镜的成像原理,与透射电镜不同,它不用透镜来进行放大成像,而是象闭路电视系统那样,逐点逐行扫描放大成像。
具体为:由三极电子枪发射出来的电子束,在加速电压作用下,经过2-3个电子透镜聚焦后,在样品表面按顺序逐行进行扫描,激发样品产生各种物理信号,如二次电子、背散射电子、吸收电子、χ射线、俄歇电子等。
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这些物理信号的强度随样品表面特征而变,它们分别被相应的收集器接受,经放大器按顺序、成比例地放大后,送到显像管成像,得到样品表面特征图像。
供给电子光学系统使电子束偏向的扫描线圈的电源也是供给阴极射线显像管的扫描线圈的电源,此电源发出的锯齿波信号同时控制两束电子束作同步扫描。
因此,样品上电子束的位置与显像管荧光屏上电子束的位置是一一对应的。
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扫描电镜成像的物理信号 扫描电镜成像所用的物理信号是电子束轰击固体样品而激发产生的。具有一定能量的电子,当其入射固体样品时,将与样品内原子核和核外电子发生弹性和非弹性散射过程,激发固体样品产生多种物理信号。
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