sem操作使用手册.docx

注意:  当 System Vacuum<2 × 10  mBar 时,会自动打开 CIV 阀门 (column isolation valve)   ,并启动离子泵。
Zeiss Supra55(VP)扫描电子显微镜
简明操作指南
一、开机说明
冷启动步骤
1 、 启动 UPS
打开墙上空气开关,确认 UPS 后面电池开关打开,按前面面板上 On 键至两个绿灯亮。
2 、 启动循环水冷机。
按 On 键,确认水泵 1 和制冷指示灯亮。
检查出水口压力在 2 ~ 3bar 。出水口压力可由压力表下方阀门调节。
若有报警,检查水位,按 Res 键。
3 、 启动空气压缩机。
确认空气压缩机上启动阀门上开关为“ I”状态。检查输出气压为 5~ 6bar 。
4 、 确认主机后两个电源开关状态为 On。
此时,主机前面板上红灯亮。
5 、 按下黄键。
说明: 前级真空泵进入工作状态,分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。
6 、 按下绿键。
按下绿键后,电脑会自动启动,输入计算机密码:
7 、 启动 SmartSEM 软件。
用户名: system 密码:
8 、 检查真空值,等待真空就绪。
-5
-9
当 Gun Vacuum=<5 × 10 mBar 时,可启动灯丝。若长期停机,需做烘烤。
9 、 开启灯丝。
10、开 TV,检查样品台。
11、装样品 (见第二部分 )。
12、加高压 (EHT)。
13、观察样品。
待机状态
1 、 关闭高压 (EHT)。
2 、 关闭 SmartSEM 软件。
注意: 分两步,先关用户界面 User Interface ,后关后台程序 EM Server 。
3 、 关 Windows 。
4 、 必要时,关能谱、 EBSD。
5 、 按下黄键
此时,电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。电镜真空系统和灯丝继续工作。
待机状态启动
1 、 按下绿键。
按下绿键后,电脑会自动启动,输入计算机密码:
    结束后检查枪真空值,一般小于 1× 10  mBar 。关闭   Gun Monitor  。插入高压头,锁紧。
2 、 启动 SmartSEM 软件。
用户名: system 密码:
3 、 检查真空值。
4 、 换样或加高压观察样品。
关机步骤
1 、 关高压 (EHT)和灯丝。
2 、 关 SmartSEM 软件。
注意: 分两步,先关用户界面 User Interface ,后关后台程序 EM Server 。
3 、 关 Windows 。
4 、 关能谱、 EBSD。
5 、 按下黄键,等待~ 10 秒钟。
等待电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。
6 、 按下红键。
7 、 关循环水冷机。
8 、 必要时,关氮气总阀门。
9 、 必要时,关 UPS。
10、 必 要时,关墙上空气开关。
烘烤步骤
1 、 确认高压 (EHT)和灯丝关闭。
2 、 拨出高压电线。
先松开四颗螺丝,拔出高压头。
3 、 打开监控软件 Gun Monitor 。
设置监控 Gun Vacuum 和 System Vacuum 参数,时间间隔 1s。
4 、 开始烘烤
菜单栏 Tools→ g