SEM操作使用手册.doc

Zeiss Supra55(VP)扫描电子显微镜
简明操作指南
一、开机说明
冷启动步骤
启动UPS
打开墙上空气开关，确认UPS后面电池开关打开，按前面面板上On键至两个绿灯亮。
启动循环水冷机。
按On键，确认水泵1和制冷指示灯亮。
检查出水口压力在2～3bar。出水口压力可由压力表下方阀门调节。
若有报警，检查水位，按Res键。
启动空气压缩机。
确认空气压缩机上启动阀门上开关为“I”状态。检查输出气压为5～6bar。
确认主机后两个电源开关状态为On。
此时，主机前面板上红灯亮。
按下黄键。
说明：前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。
按下绿键。
按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：
启动SmartSEM软件。
用户名： system 密码：
检查真空值，等待真空就绪。
注意：当System Vacuum<2×10-5mBar时，会自动打开CIV阀门(column isolation valve)，并启动离子泵。
当Gun Vacuum=<5×10-9mBar时，可启动灯丝。若长期停机，需做烘烤。
开启灯丝。
10、开TV，检查样品台。
11、装样品(见第二部分)。
12、加高压(EHT)。
13、观察样品。
待机状态
关闭高压(EHT)。
关闭SmartSEM软件。
注意：分两步，先关用户界面User Interface，后关后台程序EM Server。
关Windows。
必要时，关能谱、EBSD。
按下黄键
此时，电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。电镜真空系统和灯丝继续工作。
待机状态启动
按下绿键。
按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：
启动SmartSEM软件。
用户名：system 密码：
检查真空值。
换样或加高压观察样品。
关机步骤
关高压(EHT)和灯丝。
关SmartSEM软件。
注意：分两步，先关用户界面User Interface，后关后台程序EM Server。
关Windows。
关能谱、EBSD。
按下黄键，等待～10秒钟。
等待电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。
按下红键。
关循环水冷机。
必要时，关氮气总阀门。
必要时，关UPS。
必要时，关墙上空气开关。
烘烤步骤
确认高压(EHT)和灯丝关闭。
拨出高压电线。
先松开四颗螺丝，拔出高压头。
打开监控软件Gun Monitor。
设置监控Gun Vacuum和System Vacuum参数，时间间隔1s。
开始烘烤
菜单栏Tools→go to panel→bakeout，打开Bakeout界面，设定加热时间8～20h，冷却时间设为2h，开始。
烘烤完成
结束后检查枪真空值，一般小于1×10-9mBar。关闭Gun Monitor。插入高压头，锁紧。
二、换样品
装试样。
在备用样品座上装好样品，并记录样品形状、编号和位置。
注意：各样品观察点高度基本一致。确认样品不会脱落，并用洗耳球吹一下。
关高压。
检查插入式探测器状态
打开TV，将EBSD等插入式探测器拉出。
放气