常温沉厚铜制程（s）.pdf

ELECTROLESS COPPER PLATING
化化学学沉沉厚厚铜铜制程制程
广州佰勤贸易有限公司
韩国仁川化学株式会社
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化学沉铜制程
Ⅰ. 预处理化学品Ⅱ. 化学沉铜
™ 铜清洁剂™ 薄铜
™ 微蚀剂™ 中/厚铜
™ 活化剂™ 温度越高,沉铜越厚
™ 加速剂
流程图
清洁水洗微蚀水洗
加速水洗催化预浸
水洗化学沉铜
铜清洁剂
™ CP-3000
z 特别为如聚酰胺类基材设计的调理剂,独立碱性
组分设计,保护对碱性敏感的材料.
™ CP-8000(普通型)
z 碱性的清洁作用,温和的调理性能.
微蚀剂
™ EP-222
z 经济型过硫酸混合物
z 为特别价格要求设计
™ EP-229
z 硫酸双氧水型
活化剂
I. 预催化 II. 催化
™ PCT-SALT ™ PCT-740
- 粉状: 开缸与维护-Pd/Sn胶体
-3~4% in P-SALT
- 稳定,添加量少
加速剂
™ PCT-747
- 硫酸型
- 经济型
化学沉铜
™ ICP-360 中/厚铜
¾ 三组分体系:
- ICP-360A : 铜/甲醛(+2)
- ICP-360B : 络合剂
- ICP-360C : 苛性(+)
- 福尔马林/ ICP-360 Stable
¾ 低甲醛: verses 9~12g/l
¾ 操作温度低: 27~32℃.
¾ 沉积速率快: ~2μm. In 30~40 min.
¾ 镀层的结晶均一致密.
化学沉铜
ICP-360 系列(中厚铜)
™ ICP-360 系列是稳定,室温操作的,中等速率的化学铜镀液.
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