制绒工艺.doc

工艺流程情况→1#预备处理→2#漂洗→3#去损伤层 →4#漂洗→5#制绒面1 →6#制绒面2 →7#制绒面3 →8#制绒面4 →9#漂洗→10#喷淋→11#HCL →12#漂洗→13#喷淋工序辅助处理液时间温度材质自动盖抽风1预处理超声波鼓泡2#溶液4min850CSUS316L自动盖有2漂洗循环鼓泡DI水4minRTPP//3去损伤层循环鼓泡碱850CSUS316L自动盖有4漂洗循环鼓泡DI水RTPP5制绒面1循环鼓泡碱25min850CSUS316L自动盖有6制绒面27制绒面38制绒面49漂洗循环鼓泡DI水4minRTPP//10喷淋/DI水4minRTPP自动盖有11HCl/HF混合循环鼓泡HCl4minRTPP/有12漂洗循环鼓泡DI水4minRTPP//13喷淋/DI水4minRTPP自动盖有1#槽增加氮气鼓泡13#槽纯水供12#槽使用,10#槽纯水供9#槽使用使用三个机械手,4#9#槽为公共槽1#到2#槽时间小于20秒,3#到4#槽时间小于15秒,5#6#7#8#到9#槽时间小于20秒1#3#槽时间优先5#6#7#8#槽满足普通排液和定量排液两种方式5#6#7#8#槽满足普通加纯水方式5#6#7#8#槽循环泵增加“有篮循环”“无篮循环”功能报警分为故障报警和通知报警(出料到位)两种方式抽风风道可以清理机械手上下左右全部采用伺服控制在1#槽或2#槽上部没有增加喷淋功能11#槽采用快速排水模式喷淋盖板使用塑料材质,设备外露部分如螺丝链条全部采用塑料材质在13#槽后增加一个氮气喷枪将5#,6#,7#,8#绒面处理槽的加热管采用不锈钢加热管增加加热管功率或增加加热管的数量,使用预热纯水时,绒面处理槽的加温时间减少到20分钟左右外置预热时间为60分钟片盒为25片,(每槽每批处理200片)绒面处理槽排液系统改进,(排除废液后槽内不得留有废液)(预留)稀HCl清洗槽5#,6#,7#,8#绒面处理槽增加溶液循环模式增加纯水预热设备,NaOH和纯水混合槽,IPA槽,自动计量补液和排放制绒槽中部增加一个温度显示,温度显示仪放在制绒槽旁边,和底部温度控制进行比较,。,戴上PVC/呢绒手套,加药操作人员需要戴上安全眼镜、防护面具、防酸碱围裙、长袖防酸手套。,在插片过程中请使用真空吸笔,如有其他取片需要,严禁直接接触硅片的表面,、头发或者是带有油脂的物品,请更换手套。、单晶号及流程单号等信息,硅片包装标签需要贴在流程单背面。,实际观察值需>16ohm-cm,上班前并做好相应记录,低于规定数值,立即通知工艺人员。:,使水位到达预定的刻度(制绒槽从上向下不锈钢壁第五个孔位),盖上槽盖,开启加热。,先按工艺规定的配液比例加入KOH,盖上盖子,鼓泡数分钟,使溶液混合均匀。,直到控制屏幕实际显示温度达到工艺规定要求。