电子束蒸发沉积制备碳化硼薄膜的化学结构研究.pdf

万方数据
电子束蒸发沉积制备碳化硼薄膜的化学结构研究苏明甫��沃揪齢,于小河��痔�,伍登学�,卢铁城���焕级�引���������要:采用了电子束蒸发在�����粱�颂蓟�����∧ぃ�⒂酶道镆侗浠凰ゼ跞ǚ�射红外光谱�����蚗射线光电子能谱���员∧ぱ�纷榉趾徒峁菇�蟹治觯�匝�:薄膜中均含有����A礁鎏卣鞣澹�直鸲杂τ谔蓟�鹬姓���嫣搴腿��恿吹慕峁梗�煌���露榷员∧�化学结构无影响;而不同束流,形成的结构不同,主要体现在碳化硼的特征结构���恿春���十面体�男纬桑�孀攀�鞯脑龃螅�∧ぶ卸��嫣褰峁瓜灾�:碳化硼薄膜;化学结构;反射红外;基片温度中图分类号:��文献标识码:�������碳化硼具有高硬度、高熔点、低密度、良好的力学稳定性、:碳化硼是菱面体,晶格属于����瘴实阏螅�ノ痪О��含有�个原子,其中�个原子构成二十面体,其余�鲈�庸钩扇��恿矗���嫣逋ü�布奂��摘文章编号:����������琇�口��年��四川大学学报�匀豢蒲О�第�第��������痡.��.���.四川大学物理与科学技术学院,成都���;��拇ù笱Х�湮锢砑凹际踅逃�恐氐闶笛槭遥�啥������琇����⋯,�������琗����⋯。�������������������������甌�,�������瑀������甌����痵����������瑃������.����瑃���。�����籆���������籄���;�����国家重大科技专项子课题苏明甫����,男,四川万源人,硕士研究生,主要从事碳化硼薄膜研究.����������,����,���,��.���������,�����瓺���������琄����,�������:����,��������築��收稿日期基金项目作者简介通讯作者��:������.��廖志君.���:�������.��甤��.���.��.�.����,����
万方数据
笛橛氩馐��崧塾敕治�三原子链连接在一起,�!�组成的二十面体和��槌傻娜��恿垂钩傻腫�����蓟�鸨∧な�经过某种沉积手段而得到的另外一种特殊结构,具有硬度大,热稳定性较强等特点,并且因其原子序数低、强度高、烧蚀效率高等优点,在惯性约束聚变中也是一种潜在的高增益材料‘��埃��栽谘�究碳化硼从块状的靶材经过某种方式沉积为薄膜时,有必要研究碳化硼的这两种特殊的结构变化,这两种结构变化必将影响碳化硼薄膜的各种性能�热缬捕龋�绲悸实��,⋯.电子束蒸发制备薄膜较其他镀膜方式具有较高的蒸发速率,可避免坩埚材料污染制备高纯薄膜,,杨水长等人已经采用电子束蒸发技术制备出了碳化硼薄膜。�濉���喽杂诮ι洌�す馍帐吹榷颇し�式�’”’”��缱邮�票傅奶蓟�鸨∧ぶ懈鞑问�员�,成分会发生变化,化学组分会发生偏移‘⋯,,选择了不同的基片温度和束流密度作为