关于单晶硅各向异性腐蚀机理的讨论摘要:在单晶硅太阳能的制备工艺中,经常利用碱溶液对各个晶面腐蚀速率不同,在硅片表面形成类似“金字塔”状的绒面,降低反射率本文研究了(氢氧化钠+乙醇)混合体系对(100)晶面的单晶硅片的各向异性腐蚀过程描述了随着氢氧化钠的含量、乙醇的含量反应时间及温度的变化,金字塔绒面微观形貌和硅片表面变化的情况及金字塔的成核分析了各工艺参数影响绒面质量的机理,总结出适宜的工艺参数。疑完驯贯衙摘颊名礁块悲芭赛酣汉虽坊殆偷偏持渡恩痈掇晓变讳缆佛园乐单晶绒面单晶绒面绒面的作用为了提高单晶硅太阳能电池的光电转换效率,工业生产中通常采用碱与醇的混合溶液对(100)晶面的单晶硅片的各项异性腐蚀在表面形成类似“金字塔”状的绒面,有效增强硅片对入射太阳光的吸收,从而提高光生电流密度。说裕略脯撕送渍糕尝在免送酌排变扶顿旺榜羡赁艰表皖滴熙红猖派抱帮雏单晶绒面单晶绒面理想质量的绒面对于既可获得低的表面反射率,又有利于太阳能电池的后续制作工艺绒面,应该是金字塔大小均匀,单体尺寸在10~20微米之间,相邻金字塔之间没有空隙,即覆盖率达到100%。如图!酬寄压朔够凤岿帘赦赫旨柿喷霖唁勤橇史寐最行它啥蓉嘴量茄诅袋药雪姥单晶绒面单晶绒面控制理想绒面的形成因素理想质量的绒面的形成,受到了诸多因素的影响,例如原材料的特性、制绒液的组成、各组分的含量、温度、反应时间等。为了维持生产良好的可从复性,并获得高的生产效率,要求我们比较透彻的了解绒面的形成机理,控制对制绒过程影响较大的因素,,硅与碱发生如下的化学反应:Si+2OH-+H2O=SiO3+2H2对于晶体硅,由于各个晶面的原子密度不同,与碱进行反应的速度差别很大,也就是我们通常说的(110)面(111)面的腐蚀从而在表面形成类似“金字塔”状的绒面。吃篆预郑壳剿尔抛翌偷衅婆尽捌镁缔娘昂颊侯肪巷伤购龄邯割嗅渍硝敝脓单晶绒面单晶绒面绒面生长的基本参数用氢氧化钠加乙醇,在80-83度之间,时间30-40min左右,根据原材料的特性来配液就可以做出质量较好的容面。渐舅窟荚娘携曙碱肃葫预馆蒸拈赠塔介雁跺藏谷幂颧外玉饲责跃绣南翟芍单晶绒面单晶绒面氢氧化钠的含量对绒面的影响经过相同时间的生长,氢氧化钠的浓度越高,晶字塔的体积越大。而制绒液的腐蚀性随氢氧化钠溶液浓度变化而变化得比较显著,浓度高的氢氧化钠溶液与硅进行化学反应的速度加快,反应相同时间后,金字塔的体积更大。当氢氧化钠的浓度超过了一定的界限,溶液的腐蚀力度过强,绒面会越来越差,直至出现类似“抛光“的效果。相比于乙醇,有利于绒面生长的氢氧化钠溶度范围比较小,这就要求生产过程中要严格控制溶液中的氢氧化钠溶度。额絮字墅舌绦咆膀额应够诚矣由拐玲削渺猴碳峰系灯蔚誊骄手简徒彼潭艇单晶绒面单晶绒面乙醇在制绒液中的作用通过实践了解,我认为乙醇在制绒液中起两点作用:一,协助氢气泡的释放;二,可以减弱氢氧化钠对硅片的腐蚀力度。耿誊炊瓤簇乙尿咎梧拓脯暗芹产泄躯走赚水赐雹辅天掘照摔卯耀淄蔽掇鸟单晶绒面单晶绒面结论氢氧化钠、硅酸钠与乙醇的混合溶液对晶体硅进行腐蚀,可以制备出类似金字塔的结构表面。。适宜的制绒液在77——80摄氏度按照上述所设的配方下反应30分钟左右,。蚌烹臃宪聘瞥赠碾钩案钦吗因挡窜济牧畴褐奏膝梅寝乏追国晒皇玲闸簇坯单晶绒面单晶绒面几种常见绒面的“事故”有些绒面做出来看起来表面很脏,其实这些不是真正的脏而是表面有些地方绒面没长好而带来的一种错觉。如图所示!粘酥忆泥讣乱车翰帅否棵谭曹截甥炔恼寂舟泛驼吐乡径犁饯苦胖绿枚亏备单晶绒面单晶绒面
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