掩膜版(mask)的制造2016-05-(CleanRoom),亦称为无尘室或净化车间。「洁净室」是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能之特性。目前公司光刻室温度控制在23±℃、其它洁净室温度控制在23±1℃,相对湿度控制在45%~70%RH。(Class)目前有公制和英制两种定义方式1)公制定义方式:,用10m表示。,10m=1000=103,那么该无尘室就被称为M3级。2)英制定义方式:。ISO14644--1标准1级10级1100级101000级10010000级100010万级10000单位换算:1m3=;1ft3=;;各行业对洁净室等级要求存在较大差异;(如LCM、LCD、IC等)感性认知一般自然界气体等级外大气层1,000大气层10,000田园地带100,000街市区1,000,000工业地带10,000,HEPA(HighEffucencyParticulateAir-filter)(FFU)%;ULPA(rationAir-filter)%;(夹心板)岩绵彩钢板(夹心板)【需远离明火】【防火、隔热、隔音】
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