EBSD样品采集及处理.doc

Forpersonaluseonlyinstudyandresearch;mercialuse肀蚅一,EBSD技术原理螆EBSD的系统组成与工作原理以中国地质大学(武汉)地质过程与矿产资源国家重点实验室(图1)为例介绍,,该EBSD仪器是丹麦HKL技术有限公司制造的Nordlys-II&。EBSD以扫描描电镜(SEM)为载体,硬件包括三大部分:扫描电子显微镜、电子背散射衍射仪和终端图像处理设备(图1)。扫描电镜提供样品室和高能电子束等基本条件;D)数字相机组成。终端图像处理设备则主要是计算机,用以控制实验、分析数据和显示结果。肁蒈进行组构测量时,将精细抛光的样品以高角度倾斜(通常为70°)放置于SEM样品室内,用20kV的高能电子束轰击样品表面,工作距离通常为20mm。人射角度大于90°的背散射电子从样品表面下的一点分散射出并撞击各个方向的晶面,当某些特殊方位的散射电子轨道满足某种衍射条件时,就会发生衍射,形成两个衍射电子圆锥面,投影到荧光屏上为两条近似平行的直线,即菊池线。每组晶面都会形成相应的菊池线,D相机通过与荧光屏连接处的铅玻璃屏获取图像,并将其传输至终端计算机中进行处理。,确定晶体类型、取向、晶体间的夹角(位向差)、晶体粒度、晶界类型以及重位点阵晶界分布等特征。螈通过EBSD测量得出的矿物组构图反映的是某种矿物多晶粒取向的统计规律。实际测试中应用SEM的扫描功能,使电子束从样品表面扫过,获取一系列同种矿物的单点衍射图案,标明衍射点指数,然后对这些数据进行等面积下半球赤平投影,便可得到反映晶体CPO的各主要晶轴空间分布的极密图,所统计颗粒的多少对组构极密图的精度起到重要的控制作用。袆蒂芀组构图解的坐标轴设置通常为X一拉伸线理方向,XY一面理,Z一垂直面理方向。,XY为面理,Z垂直面理方向。因此,在野外采集的标本(样品)首先要进行构造定向或自然定向。在大型剪切带或具有剪切应变岩石的露头上,首先确定XYZ应变椭球体的位置,即面理为XY面,拉伸线理方向为X轴,垂直面理方向为Z轴。磨制的定向面为既显示最大拉伸应变,又反映剪切指向的XZ面。在微构造要素不清晰的野外露头上,可采取测量自然面的产状,回实验室进行样品的酸处理,寻找XY面和X轴的方向。,因为背散射电子只能来源于样品表层几十纳米的厚度范围内,任何表面缺陷(磨片过程中造成的表面变形、置于空气中形成的氧化膜或污染物等)的存在都可能影响最终图像的质量。因此首先要求对样品表面进行精细抛光,抛光的时间、强度及所使用的工具要视样品的强度而定。由于地质学领域的大部分岩石样品是非导体,所以抛光之后还需要镀上一层非常薄的导电层(碳或金)。EBSD分析要求导电层的厚度在2-3nm,更薄容易放电,更厚则不易得到衍射图案,因此既均匀又很薄的喷镀是一项有待进一步完善的精细技术。羀莀四EBSD技术的优点肅EBSD技术是在岩石组构测试的传统光学方法(费氏台)、衍射方法(如X射线衍射、中子衍射)等的基础土发展起来的,可以快速、准确地同时获取多矿物的晶粒取向信息,解决了传统