(X-rayPhotoelectronspectroscopy):以一定能量的X射线作为激发源,照射在检测物质表面,激发出光电子,通过对光电子的能量分布进行检测,获取的电子能谱图。获取信息:电子结合能(元素定性)原子结合状态(化学价态)半定量分析(峰面积比例)技术特点:样品用量少(<)分析范围广(3-92号元素),,,对结合能进行修正峰值背景值结合能以O元素为例,将修正后的结合能与峰值复制至新建的空白TXT文件中,,在XPSPeakFit对话框中选择Data-Import(ASCΠ),输入上步骤保存的TXT文件点击Background,弹出对话框,调整High/LowBE值,Type,ept-Close背景起止数值背景类型(Shirley,Linear,Tougaard)加背景后点击AddPeak,弹出对话框,调整Position(峰位置),ept后对话框消失,选择OptimiseRegion自动拟合,峰位置拟合后拟合结果不满意,继续上一步骤(添加峰),点击AddPeak,弹出对话框,调整Position(峰位置),ept,选择OptimiseRegion自动拟合(可多次点击)添加峰拟合后添加峰拟合前
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