X射线光电子能谱(XPS)分析及软件应用
报告人: 汪鹏
环境学院
1. XPS
X射线光电子能谱(X-ray Photoelectron spectroscopy):以一定能量的X射线作为激发源,照射在检测物质表面,激发出光电子,通过对光电子的能量分布进行检测,获取的电子能谱图。
获取信息:
电子结合能(元素定性)
原子结合状态(化学价态)
半定量分析(峰面积比例)
技术特点:
样品用量少(< )
分析范围广(3-92号元素)
不需要预处理
XPS分析示意图
2. XPS数据分析
数据处理
在分析的所有元素中,选择C 1S
ev附近找到最大的峰, ev,对结合能进行修正
峰值
背景值
结合能
以O元素为例,将修正后的结合能与峰值复制至新建的空白TXT文件中,保存
峰拟合
打开XPS Peak 软件,在XPS Peak Fit对话框中选择Data-Import (ASC Π),输入上步骤保存的TXT文件
点击Background,弹出对话框,调整High/Low BE值,Type,ept-Close
背景起止数值
背景类型(Shirley,Linear,Tougaard)
加背景后
点击Add Peak,弹出对话框,调整Position (峰位置),ept后对话框消失,选择 Optimise Region自动拟合,
峰位置
拟合后
拟合结果不满意,继续上一步骤(添加峰),点击Add Peak,弹出对话框,调整Position (峰位置),ept,选择 Optimise Region自动拟合(可多次点击)
添加峰拟合后
添加峰拟合前
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