皮秒激光应用课件.ppt

皮秒激光应用课件.ppt皮秒激光的应用精选*激光加工对激光光束的要求精选*超短脉冲加工:能量极快地注入很小的作用区域,瞬间高能量密度沉积使电子吸收和运动方式发生变化,避免了激光线性吸收、能量转移和扩散等影响,从根本上改变了激光与物质相互作用机制。皮秒脉冲激光加工优点:结构简单、效费比高、成本适中、重复性好、使用方便精选*皮秒激光加工刚刚兴起,主要应用行业包括:半导体产业(低k材料)、太阳能产业(特别是薄膜技术)、平面显示产业(TCO,OLEDs)、钻石微铸造(micro-molds)、精确孔径(preciseapertures)和电极结构(electrodestructure)加工、印刷产业(printingindustry)或滚筒压纹(embossingofrolls)、医学植入(medicalimplants)等大型微结构表面。大型船舰的微细加工,微尺度特性提供抗垢保护和磨擦降低功能。高压缩汽缸注入喷嘴(injectionnozzles)和薄型玻璃材料的切割与钻孔。强化玻璃、硅、蓝宝石晶圆和发光二极管等加工。精选*轻薄、省电、自发光、大显示角,下一代显示屏的最佳选择有机发光二极管(OLED)加工精选*太阳能电池加工选择性清除Si-片上的SiO2膜层,无可见残渣,底层芯片几乎无损伤335nm,*薄膜太阳能电池结构制作用1064nm和532nm皮秒脉冲划线加工,无熔融材料或电接触遗留在TCO边缘和钼背接触层,有利于获得高效率太阳能电池精选*透明材料钻孔避免CO2及纳秒激光钻孔所伴随的微裂纹及碎屑产生皮秒激光钻孔,实现边缘、侧壁的光滑加工,防止应力集中、材料碎裂石英D236T玻璃薄片1064nm14W精选*不锈钢钻孔φ100μm重频1kHz,、内孔壁加工效果,微米级的重复精度螺线钻孔(环钻)方式改进钻孔质量,使孔的出口呈现清晰的圆形边缘精选*喷油嘴钻孔用高功率皮秒激光器钻孔喷油嘴,产生了非常尖锐的边缘,孔内没有毛刺或熔化,表面非常光滑,从而能实现最优化的燃料喷雾。此外,喷油嘴的锥度可以从正值、零值到负值,为优化喷射过程提供了一定的自由度。50W的平均功率与高达250μJ的脉冲能量相结合,能够实现高速、高质量的钻孔精选*