皮秒激光应用.ppt

皮秒激光的应用激光加工对激光光束的要求?超短脉冲加工:能量极快地注入很小的作用区域,瞬间高能量密度沉积使电子吸收和运动方式发生变化,避免了激光线性吸收、能量转移和扩散等影响,从根本上改变了激光与物质相互作用机制。?皮秒脉冲激光加工优点:结构简单、效费比高、成本适中、重复性好、使用方便?皮秒激光加工刚刚兴起,主要应用行业包括:半导体产业(低k材料)、太阳能产业(特别是薄膜技术)、平面显示产业(TCO, OLEDs)、钻石微铸造(micro-molds)、精确孔径(precise apertures)和电极结构(electrode structure)加工、印刷产业(printing industry)或滚筒压纹(embossing of rolls)、医学植入(medical implants)等大型微结构表面。?大型船舰的微细加工,微尺度特性提供抗垢保护和磨擦降低功能。?高压缩汽缸注入喷嘴(injection nozzles)和薄型玻璃材料的切割与钻孔。强化玻璃、硅、蓝宝石晶圆和发光二极管等加工。?轻薄、省电、自发光、大显示角,下一代显示屏的最佳选择有机发光二极管(OLED)加工平均输出功率重复频率速度脉冲能量200 kHz6m/s1μJ太阳能电池加工选择性清除Si-片上的SiO2膜层,无可见残渣,底层芯片几乎无损伤335nm,,无熔融材料或电接触遗留在TCO边缘和钼背接触层,有利于获得高效率太阳能电池透明材料钻孔?避免CO2及纳秒激光钻孔所伴随的微裂纹及碎屑产生?皮秒激光钻孔,实现边缘、侧壁的光滑加工,防止应力集中、材料碎裂石英D236T玻璃薄片1064nm14W不锈钢钻孔φ100μm重频1kHz,、内孔壁加工效果,微米级的重复精度螺线钻孔(环钻)方式改进钻孔质量,使孔的出口呈现清晰的圆形边缘喷油嘴钻孔用高功率皮秒激光器钻孔喷油嘴,产生了非常尖锐的边缘,孔内没有毛刺或熔化,表面非常光滑,从而能实现最优化的燃料喷雾。此外,喷油嘴的锥度可以从正值、零值到负值,为优化喷射过程提供了一定的自由度。50W的平均功率与高达250μJ的脉冲能量相结合,能够实现高速、高质量的钻孔