无尘室+滤网+泄漏测试.doc

无尘室滤网泄漏测试滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中,最复杂、最耗时间的量测项目。泄漏测试的目的,是要确认:,,。滤网出厂前当然要经过泄漏测试,但是在搬运与安装过程难保完全无损,而且滤网的重要性又大于一切,因此安装完毕都要做一次扫描,以确认滤网本身无任何泄漏。另外,若是安装不恰当,微粒会从边框与钢架接合处漏进无尘室。就算是FFU系统,天花板上相对于无尘室是负压,微粒仍旧会因为气流移动产生微小乱流而漏进无尘室。因此,边框扫描属绝对必要。滤网泄漏测试基本上是把验证微粒施放在滤网上游,然后在滤网表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式,适用在不同的场合。测试方式有:,,,,说明如下。一、,但是因为效果非常好,到今天仍旧沿用。气胶亮度计(AerosolPhotometer)是微粒计数器的一种,也是使用雷射科技,但是它在扫描空气样本的微粒之后,输出的信号是微粒的总体强度,不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质,加压或加热雾化之后,可以产生次微米等级的微粒,可用来模拟无尘室的微粒,因此被当成验证微粒。泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一,由于气胶亮度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值,因此扫描滤网非常方便。也正因其准确、可靠,美国食品与药品管制局(FDA)规定,在其管辖范围内(食品加工场所与医疗制药场所),所有的滤网泄漏测试必须使用DOP与气胶亮度计。近年来由于人们怀疑DOP会导致癌症,因此多改用PAO。PAO和DOP的特性类似,使用上无多大差异。(AerosolPhotometer)与微粒产生器(AerosolGenerator)。气胶亮度计的显示版有模拟与数字两种,每年必须校正一次。微粒产生器有两种,一种是普通的微粒产生器,另一种是加热型微粒产生器,微粒产生器不需要校正。,大致上是施放微粒并检查浓度、滤网与边框扫描以发现泄漏、更换或修补、重测,其步骤说明如下。。,风速与风量必需调整平衡完毕。,将PAO打入滤网上游,微粒浓度是大约每公升空气含有10到20微克的PAO。微粒愈多愈容易找出泄漏,但是超过50微克以后差别不大,少于10则很难使用。微粒浓度可用风量粗略计算,再用气胶亮度计确认。,就可以在滤网表面扫描,寻找泄漏,必要时滤网四周可用塑胶帘覆盖以确保测试之准确。,扫描之路径可由外而内或沿长/短边迂回检测,其方式如下:。,将探漏器摆设如图(b),用短边方向前进,,尤其滤网与CeilingGrid之间,探漏器摆设可以如上图(a)或图(b),涵盖全部接缝。(10mm*60mm)采样器置于滤网下25mm左右,以50mm/sec速度仪动。,,即可怀疑为泄漏,可退回约100mm反复再测,如果没有持续高读数,则可