:半导体特性分析系统含嵌入式PC,Win7操作系统。不小于128g固态(SSD)硬盘,包含测试软件。(SMU)数量为4个:*-±-±3A电流,:电压测量最高分辨率<1uV;%+:电流测量最高分辨率<5fA;最高精度优于1%+300fA*:最大直流功率20W,最大脉冲功率500W,-:*-±-±1A电流,:电压测量最高分辨率<;%+:电流测量最高分辨率<2fA;%+30fA*:最大直流功率20W,最大脉冲功率480W,--V测试单元,可由器件分析仪的主机控制,包含相应测试和图形显示软件。同时可独立做为LCR表使用,用于测量半导体器件的电阻、电容、电感等参数。:4Hz-8MHz;:10mV-:10uA-:±40V;*为关键性指标,必须满足
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