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电池培训
太阳电池制造
——制造过程、工艺及卫生
太阳电池制造过程（流程图）
硅片装盒
超声波清洗
去除硅片损伤层和形成绒面*
甩干
磷扩散形成p-n结*
等离子体边缘腐蚀
腐蚀表面磷硅玻璃
甩干
PECVD 沉积SiN*
印刷背面电极
烘干
印刷铝背场
烘干
印刷正面电极
烧结*
测试
包装
带有*的为关键工艺，需对结果进行测量，必须满足设计值。
太阳电池制造过程（一）
硅片装盒
超声波清洗
硅片腐蚀去除硅片损伤层（和形成绒面）
硅片甩干
单晶制绒的原理：
热的NaOH溶液去除硅片表面机械损伤层：〔硅酸钠起增加硅片表面成核密度和减缓反应的作用，异丙醇起带走因反应粘附在硅片表面的气泡的作用并产生氢气〕
反应方程式：Si+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2↑
单晶制绒的原理：
HF去除硅片表面氧化层；去除硅片表面残余碱：
HCl去除硅片表面金属杂质：
盐酸具有酸和络合剂的双重作用，氯离子能与 Pt 2+、Au 3+、
Ag +、Cu +、Cd 2+、Hg 2+等金属离子形成可溶于水的络合物。
单晶制绒的原理：
单晶绒面的大小跟四个因素有关：氢氧化钠的浓度，异丙醇的多少，温度的高低和反应时间的长短来决定。当绒面不理想时，我们可以改变其中的一个量其余三个不变来调节，最常用的是改变氢氧化钠和时间来调节。在制绒过程中一定要用显微镜看绒面，称重和测减薄量。
单晶的各种形貌
单晶原始形貌（500倍）
单晶绒面 （500倍）
单晶绒面（SEM）
单晶粗抛（500倍）
多晶制绒原理
1)GrO3+HF酸 在6、7、8、9线的配液浓度：
1#槽 GrO3 1800克 HF 40升
2#、3#槽 GrO3 1200克 HF 60升
6# HCL 56升
每槽10分钟，温度20度 补液2000克GrO3+4升纯水
时间4—16秒 —
反应化学式为：2GrO3+Si→Gr2O3+SiO2
SiO2+HF→H2[SiF6]+2H2O
多晶绒面
多晶的形貌
多晶绒面（SEM）