X射线能量色散谱-EDS.ppt

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X射线能量色散谱（EDS） x-ray energy dispersive spectrocopy（X射线波长色散谱（WDX）安装在扫描或透射电子显微镜上）
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一、X射线能谱分析的基本原理
二、X射线能谱仪
三、利用X射线能谱对样品成分进行分析
四、X射线能谱仪的工作方式
五、X射线能谱分析的优点和缺点
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光电子、荧光X射线及俄歇电子产生过程
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一、X射线能谱分析的基本原理
利用一束聚焦到很细且被加速到5～30Kev的电子束，轰击用显微镜选定的待分析样品上的某个“点”，利用高能电子与固体物质相互作用时所激发出的特征X射线波长和强度的不同，来确定分析区域中的化学成分。
能方便地分析从4Be到92U之间的所有元素。
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二、 X射线能谱仪
图1 X射线能谱仪
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能谱仪的关键部件是Si(Li)检测器，它实际上是一个以Li 为施主杂质的n-i-p型二极管，其结构示意图如图2所示。
图2 Si(Li)检测器探头结构示意图
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一个X射线的光子通过8～25m的铍窗口进入探测器后会被Si原子所俘获， Si原子吸收了入射的X射线光子后先发射一个高能电子，当这个光电子在探测器中移动并发生非弹性散射时，就会产生电子—空穴对。此时，发射光电子后的Si原子处于高能激发态，它的能量以发射俄歇电子或Si的特征X射线的形式释放出来．俄歇电子也会发生非弹性散射而产生电子—空穴对．Si的特征X射线也可能被重新吸收而重复以上的过程，还可能被非弹性散射．如此发生的一系列事件使得最初入射的那个X射线光子的能量完全耗尽在探测器中。