《透明导电薄膜 tco 绒面制作技术综述》.pdf

《透明导电薄膜_tco_绒面制作技术综述》透明导电薄膜 绒面
制作技术综述
一 ,
、
, 主 ,
,
摘要 综述 了透明导 电薄膜 绒 面制作的最新发展和研 究现状 , 对各种绒 面制备方法
作 了系统的介绍和评估 , 并从材料 、工艺与性 能等方面分析 了它们的优势和不足之处 , 最后
对业界概况 、 存在的问题及发展方向进行 了讨论和预测 。
令东莞宏威数码机械有限公司 钟铁涛
一 、引言 程 , 增加光的吸收 。 源流量 即载带 的 流量 , 氧流
量 掺杂量等 密切相 关 。衬底温
透 明导 电氧 化 物 二 、不同透明导电薄膜绒面 ,
度 影响 膜的光 电和结构性质
, 半导体薄膜 制备方法及特点 ,
具有较大的禁带宽度 和红 膜为闪锌矿结构 , 随 、的升高 ,
绒面掺氟二氧化锡透明导电膜的
外截止特性 在可见光区有较高的透