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三维光学轮廓测量仪综述
三维光学轮廓测量仪是利用光学显微技术、白光干涉扫描技术、计算机软件控制技术
和PZT垂直扫描技术对工件进行非接触测量，还原出工件 3D表面形貌宏微观信息，并通
过软件提供的多种工具对表面形貌进行各种功能参数数据处理， 实现对各种工件表面形貌的
微纳米测量和分析的光学计量仪器。
三维光学轮廓测量仪典型特点：
1） 使用白光干涉测量技术，非接触式、非破坏性、快速表面形貌测量与分析；
2） 台阶高度测量分辨率达 nm ；
3） 可搭配黑白或彩色相机进行 2D、3D显示和测量功能；
4） 配置电动鼻轮，可同时挂载多种物镜并程序化控制切换使用；
5） 采用双光源模式，适应特殊样品测量；
6） 测量范围100 x 100mm（可按客户定制尺寸）；
7） 配置低倍率物镜（ x和5X倍率），可进行大面积3D测量；
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8） 提供多种表面参数测量功能，如断差高度、夹角、面积、体积、粗糙度、波纹度、 薄膜厚度及平面度；
9） 提供超过250多种各类参数（含 2D、3D ）计算；
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10） 友好的人机界面，简便的图形化控制系统及 3D图型显示;
11） 多种交换文件格式，可储存与读取多种 3D轮廓文件格式；
三维光学轮廓测量仪典型应用：
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、共面性、面形轮廓、表面
缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、蚀刻情况、弯曲变形情况、加工情况、
材料支撑率等表面形貌特征进行测量和分析。
行业领域
应用对象
备注
材料、精密加工行
业
合成材料、柔软材料、易腐蚀材料
蚀刻加工如硅纳米线样品化学蚀刻深度和面积测量
非金属表面如玻璃、砂轮、有色金属如轴承钢球、轧制铝膜
表面形貌特征测
量分析
汽车行业
曲轴表面的粗糙度、腐蚀和磨损表面形貌、喷油嘴、机械密封
特征测量分析
液晶、平板显示行
业
液晶显示器、液晶间隔、液晶棱镜薄片、蓝宝石衬底、手机显
示屏
生物医学行业
人造牙齿、人造皮肤、手术刀的表面粗糙度、腐蚀和磨损纹理
等
能源器件行业
太阳能电池
半导体、微电子行
业
薄膜和涂层厚度测量、晶元、大高深比硅通孔（ TSV测量
硅纳米线表面形貌、芯片、PCB电子元器件、LEDS
MEM微机电行业
微机电硬盘读头、微机电打印机喷嘴
光学行业
光学镜片及镀膜、微透镜阵列、光学镜面激光抛光
信息存储行业
光盘、硬盘表面
印刷造纸行业
纸币印刷和纸张表面
应用范例:
材料、精密加工 能源器件
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生物医学
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半导体、微电子
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