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洁净室介绍
半导体工厂洁净室示意图
5
.
2
m
5
.
2
m
4
.
8
m
5
.
5
m
1
.
3
10 m (33 ft)
10 m (33 ft)
72 m (236,2 ft)
22 m (74 ft)
楼梯间
回风
Cl. 100
turbulent
回风区
工艺真空管路
补充气体
工艺原料供应主管路
洗涤塔
排风扇
工艺原料主供应系统
Level 1
Lower
Subfab
Level 2
Level 3
m
排风扇
钢结构
微环境
（Class 1,SMIF
静压箱
水泥覆盖
防水保温
镀锌浪板
独立过滤风扇
天花吊顶系统
高架地板
架子格
钢结构
特殊气体气柜
无尘电梯
人员操作区
（Class 100)
洁净室的空调系统及其气流组织形式
Cleanroom洁净室
利用风管上送侧排
为非单向流洁净室
易控制大范围的空气流动
利用风管和地板上送下回
为混合流洁净室
适合有较高洁净度和
较大热负荷要求的洁净室
但必须确保架空地板高度
Cleanroom洁净室
Cleanroom洁净室
利用FFU和地板上送下回
易形成垂直单向流
适合有较高洁净度要求的洁净室
但必须确保架空地板高度
直接利用空调箱侧送侧回
不能形成同一方向气流，是乱流
适合洁净度要求不高的洁净室
洁净室的构造是怎样的？
低
中
高
设备费用
循环风量较少
运行成本最低
对生产设备的发热、排热进行分别处理，可以降低运行成本
生产设备的发热即为空调的热负荷，运行成本最高
运行成本
20－50次/h
通道内200－400次/h，
- /s；
其它区域100－200次/h
400－500次/h、

换气次数
10,000～100,000级
室内洁净度不高
易受作业人员的活动而导致洁净度下降
1～10,000级
洁净通道内为高洁净度区域
可以减少作业人员对洁净度的影响
1～1000级
室内全部为高洁净度区域
易受作业人员的活动而导致洁净度下降
洁净度
洁净室
气流方式流程图
乱流方式
部分层流方式
全面垂直层流方式
比较项目
洁净室的洁净度是如何确定的？
1000000
0
0
0
1
10
100
1000
10000
100000


1
10
颗粒直径（μm）
颗粒数量（个）
Class1
Class10
Class100
Class1000
Class10000

1立方英尺为单位空间
在太平洋中游弋的一条鲣鱼
在某一次研讨会上，讲师说到净化厂房的净化度时，举了 “在太平洋中游弋的一条鱼”的例子来比喻“浮游在空气中的灰尘”，其寓意是要让大家亲身感觉到半导体洁净室方面的那种极其洁净的程度。那么，不妨以ISO 1级的洁净度为例来计算一下就知道了。
＜10个，×1/1021。根据世界地理知识，可查到太平洋的面积为16500万km2、平均深度为4282m、体积为70700万km3。
因此，如果用与ISO 1级洁净度相同的粒子比例进行换算，×10- , 。
如果，我们把自己置身于微米世界之中，我想大家就不难亲身感受到在世界第一大洋——“太平洋中游弋的一条鲣鱼”是一种什么样的感觉了吧。
尘埃粒子直径的示意图
尘埃粒直径（单位：μm）





10
100
1000
10000
香烟的烟
颜料
烟
硅砂
花粉
植物孢子
水泥
人的头发
重工业发出的粒子
病毒
细菌
化学物质
μm
洁净室的洁净度是如何维持的？
Cooling Coil
干式冷盘管
Fab
生产层
Sub-Fab
下技术层
Chamber
回风静压室
Shaft
回风井道
Fan Filter Unit
风机过滤单元
Cleanroom
洁净室
Chamber
回风静压室
AHU
空调机
Duct
风管
HEPA Filter高效过滤器——
High Efficiency Particulate Air Filter
密封条
外框
过滤器介质
波浪型隔离体
褶皱状滤纸
外框
热溶胶
热溶胶（多处加工）
外框
滤纸
ULPA F