silvaco TCAD 仿真速成手册范本.doc

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silvaco TCAD 仿真速成手册
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热度4票  浏览33次 时间：2010年2月26日 09:01
silvaco TCAD 仿真速成手册
个图表的"cutline"片断。 这时,关闭其它相关绘图相关视窗,点击"OK," 然后返回主要视图和选择下列命令：
Tools... Cutline...
现在将使用默认"vertical cutline"方框,但在"cutline" GUI中也可以选择水平或交叉的cutline方框。 返回主图,在cutline起点处点击并按住鼠标左键。竖向直拖动鼠标,到cutline终点处松开鼠标。松开左键后,cutline图表将自动显示当前现实的参量的cutline。完成操作后点击cutline方框上的 "OK" 键。
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要在新cutline图上覆盖显示其他变量,则左击线图,使之变为当前视图〔图表的白色边框表示它为激活现行图表。然后点击：
Plot... Display...
来选择要覆盖在线图上的其它参量。 例如,如果在线图上添加Arsenic, Boron和Phosphorus,。 Vg 相对Id 曲线也有相似命令,使它可以在线图上覆盖显示其它电学参量。
Cutline图
总的来说,在终端或控制窗口键入"tonyplot ",可绘制一个文件；或者在DeckBuild中,通过高亮文件名并按下列顺序操作命令,直接绘制结构。
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Tools... Plot... Plot Structure
要自动绘制一个仿真中创建的结构文件,只需简单添加语句：
structure outfile=
tonyplot
至输入文件,仿真器将保存创建的器件文件直至输入文件中该点。仿真器在达到该点之后,即自动绘制结构。用户可在仿真过程中的任意点绘制任意数目的结构文件。
: 自动创建和编辑输入文件
现在,您应该已经了解如何加载、运行和查看TCAD 例的结果。接下来演示如何简便创建自己工艺仿真输入文件或者修改已有文件。
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输入文件为简单的ASCII文本格式,因此它可使用任何ASCII 编辑器创建。 但是,DeckBuild 包含一个简单的GUI,可自动创建工艺仿真输入文件。
为了简化程序,而不必每次从头来创建工艺仿真输入文件,这里将演示如何在现有的输入文件中添加几行代码。通过在每个工序中重复该步骤,该方法同样用于创建整个输入文件。
一旦使用"line"和"init" 语句〔参见载入例的首几行定义了仿真空间和初始衬底,工艺仿真则仅包含很多连续的扩散、植入、蚀刻和淀积步骤。其中每一步均可使用DeckBuild自动编写。
回到输入文件的例中, 假设打算在第一步之后添加一个低能量10keV "P-Well Implant"。鼠标左击DeckBuild 顶部视窗中首个P-well 植入之后的一行。 然后如下点击：
Commands... Process... Implant
屏幕将出现 "DeckBuild: ATHENA Implant" 视窗。创建额外的注入语句行只需填充该方框而已,其方法是使用滑动条、或者填充数值后按下回车键。 对于10keV 硼注入, 剂量1e11/cm2 ,垂直夹角7 度,主平面旋转27度,其注入GUI 。完成输入信息后,点击"Write",输入文件中则出现一个新行。
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完全填充的注入GUI
同样的方式可创建淀积、注入、扩散、电极、创建网格、晶元初始化,结构文件保存等等. 由于输入文件为简单ASCII 文本,要在直观的语法输入文件中编辑参数,仅需使用DeckBuild中附带的复制、粘贴和删除功能。
第3章: 简易使用手册和自学方法
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该手册很厚,乍看可能使人有点畏缩的。所以本章节将为新用户演示如何简便使用例浏览手册,从而找到特定信息。
,假设我们要理解"SRH"参数的用途。它出现在输入文件中器件仿真部分,位于"models"开头的语句行。
在工艺和器件仿真器中,任何语句行的开头词语均为"语句"。 这个例中,第一个词语是"models"。如果我们想要了解"SRH" 的作用,我们需要先找出 "models statement" 的信息。
所有的SILVACO产品均有PDF格式的用户手册。要查找器件仿真器的信息,则需要打开ATLAS用户手册。通过在控制台和端子窗口中键入"sman"