真空镀膜产品常见不良分析及改善对策.docx

真空镀膜常见的不良分析及改善对策
膜强度
膜强度是镜片在镀膜的一项重要指标，也是镀膜工序最常见的不良。膜强度的不良（膜弱）主要表现为：
1）擦拭或用专用的胶带拉撕，产生成片的脱落；
2）擦拭或用专用的胶带拉撕，产生点状的脱落；
3前对膜料进
行充分的预熔充分的放气，也可以避免由于蒸镀中膜料放气赵成的真空度下降，从而影响膜强度。
5）脱膜：
这里的脱膜虽然也是膜弱的一种，但与前述的脱膜有一些区别，主要特征为：点状脱膜、边缘脱膜
局部脱膜。主要的原因是膜内有脏污或污染物所造成。
改善方法，提高基片的清洁度，使用合适的检查环境。
膜料点：
膜料点不良也是镀膜产品的一个常见的问题，在日企、台企把膜料点称为“斑孔”，顾名思义，膜料点就
是在蒸镀中有大颗粒的膜料点子随着膜料蒸发一起蒸镀到了基片的表面，在基片表面形成点的凸起，有时候
是个别的，有时候是成片的细点，大颗粒点甚至可以打伤到基片表面。各种膜料的蒸发特点是不一样的，特别是熔点温度和蒸发温度有很大差异的时候，几种特点分别是：
a）熔点温度大于蒸发温度的材料，由固态直接气化蒸发，是升华材料；
b）熔点温度小于蒸发温度的材料，由固态先化成液态尔后在转化成气态蒸发，是非升华材料；
c）熔点温度与蒸发温度相当的材料，由固态到气态蒸发，边融化边蒸发，是半升华材料；
其中非升华材料最容易产生膜点，因为液态的哦聊继续加热会沸腾，沸腾中膜料中的气泡溢出，飞溅膜料
点的可能性加大，有时在材料预熔的时候就会有很大的飞溅。膜料受潮，预熔或蒸镀时水汽溢出，也会造成飞溅，产生膜点，下表是几种常用的膜料的升华特点
材料名称
熔点温度
蒸发温度
飞溅可能
备注
ZNS
1900
1100
极小
SIO2
1700
1600
很小
AL2O3
2020
2100
小
ZRO2
2715
2700
小
TIO2
1850
2000
大
TA2O5
1800
2100
较大
MGF2
1266
1540
大
膜料不纯、膜料参杂，既膜料中有了熔点温度、蒸发温度不一致的材料，这也是膜料点产生的原因。改善思路：选用好的膜料，充分预熔，控制速率改善对策：
a）选择杂质少的膜料；
b）对易飞溅的膜料选择颗粒合适的膜料；
c）膜料在镀前使用网筛筛选一下；
d）精心预熔，MGF2务必熔透一次蒸镀所需的膜料，而TA2O5和TIO2必须彻底熔透；
e）用一把电子枪镀制几种膜料时，防止日期转动中膜料掺杂及挡板掉灰造成膜料污染，一旦发现塔竭有污染，必须立刻更换；
f）尽最大可能的是蒸发舟、堪期清洁干净、干燥；
g）选择合适的蒸发速率，控制挡板开启时阻尼的幅度，特别是非升华材料，蒸发塑料厂不宜过高；
h）膜料去潮，将待用的膜料密封放置在干燥柜中存放；
注意：有时候膜层的一些点子可能不是膜料点子，而是灰尘点，处理的方法与膜点不同，要要个区分判
膜色差异
膜色差异有两种，一种是整罩上中下膜色不一致，及分光测试曲线有差异，一种是部分或单片膜色不一致。主要的原因有一下几种：
a）上中下膜色不一致称为整伞均匀性不好，也称伞差，主要的原因是均匀修正板有问题；
b）伞型变型，也是膜色不均匀的原因之一，特别是使用很久的伞