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用于压力传感器的检测设备、检测系统以及检测方法
用于压力传感器的检测设备、检测系统以及检测方法
本发明提供一种用于压力传感器的检测设备、检测系统以及检测方法。该检测设备包括：承载装置、多个固定装置和压力输送装置。承载装置上设置有多个通孔实施例，因此不应认为是对其保护范围的限制，通过附图以附加的特性和细节描述和解释本发明。
[0017]图1为根据本发明一个实施例的检测设备的示意图；
[0018]图2为根据本发明一个实施例的承载装置的示意图；
[0019]图3为图1中所示A区域的放大截面图；以及
[0020]图4为根据本发明一个实施例的包括检测设备的检测系统的示意图。
【具体实施方式】
[0021]在下文的讨论中，给出了细节以便提供对本发明更为彻底的理解。然而，本领域技术人员可以了解，本发明可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在特定的示例中，为了避免与本发明发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行详尽地描述。
[0022]根据本发明的一个方面，公开了一种压力传感器的检测设备(以下简称检测设备)，用于检测压力传感器的灵敏度。如图1所示，该检测设备包括承载装置110、多个固定装置120以及压力输送装置130。
[0023]结合图2所示，该承载装置110上设置有多个通孔111。虽然图2中示出的通孔111的数量为8个，但本发明不限于此，本领域的技术人员可根据实际需要选择设置合理数量的通孔。此外，通孔111的形状也并非限于图中所示的圆形，也可以为任何其它形状，只要能够实现本发明的目的即可。多个固定装置120的数量与多个通孔111的数量相对应，即每个通孔111处都对应地设置有一个固定装置120，以便将压力传感器固定在通孔111处。当将压力传感器固定在通孔111处时，压力传感器的受压面应当对准通孔111，以便使通孔111暴露压力传感器的受压面。这样，多个固定装置120可以在承载装置110的第一表面(例如图1中所示的承载装置110的左侧表面)将多个压力传感器分别固定到多个通孔111处，且通孔111能够暴露压力传感器的受压面的至少一部分。通孔111可以暴露受压面的一部分，也可以将受压面全部暴露，只要能够将压力输送装置130输送过来的气体压力通过通孔111施加到压力传感器的受压面即可。
[0024]压力输送装置130在其两端分别设置有进气口 131和出气口 132，承载装置110的第二表面朝向压力输送装置130并连接至压力输送装置130的出气口 132端。其中，承载装置110的第二表面与第一表面相对，并使得压力传感器的受压面面向所述压力输送装置130，以使来自压力输送装置130的气体能够直接作用于压力传感器的受压面。该检测设备可以同时在承载装置110上安装并固定多个压力传感器，从而可以一次完成对多个压力传感器的检测，安装方便，结构简单并且有利于提高工作效率。
[0025]优选地，如图3所示，每个固定装置120都包括密封件121，密封件121上设有开孔。在压力传感器300安装到检测设备的安装状态下，密封件121在通孔111处设置在压力传感器300和承载装置110之间，且使得密封件121上的开孔与承载装置110上的通孔111对准，以保证每个压力传感器300和承载装置110之间仅通过相应的通孔111输送气体，进而在