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深蚀刻的多点探针的制作方法
深蚀刻的多点探针的制作方法
一种用于建立测试装置和测试样品之间的电连接的多点探针，该多点探针包括限定顶表面的基部和提供在顶表面上的多个迹线，每个迹线单独使用于建立与测试样品的电连接的接触垫和接触电极互相连接，可以是窄部的最大宽度。
[0007]提供的在第一层级上的第一中间表面、相对于基部在第一层级上方的第二层级上的第二中间表面、和相对于基部在第一层级和第二层级上方的第三层级上的接触垫支撑区和迹线支撑区具有减少在探针尖端与保持空间分辨率的迹
线短路的风险的效果。这种效果通过第一长度大于第二长度的规格进一步增强了。第一宽度大于所述第二宽度允许第一层级和第二层级被进一步间隔开，这意味着可以进一步降低短路的风险。
[0008]第一层级和第二层级间隔开第一距离，第二层级和第三层级间隔开第二距离，并且第一距离大于第二距离。这进一步降低了短路的风险。
[0009]第一层级和第二层级可间隔开第一距离，第二层级和第三层级可以间隔开第二距离，并且第一距离可以大于 μ m、 μ m、 μ m、 μ m、 μ m、 μ m、 μ m、I μ m、 μ m 或 2 μ m,和 / 或第二距离可以小于 2 μ m、 μ m、I μ m、 μ m、 μ m、 μ m、 μ m、 μ m、 μ m 或 μ m。
[0010]第一层级可限定第一平面，第二层级可限定平行于第一平面的第二平面，并且第三层级可限定平行于第二平面的第三平面。
[0011]第三多个迹线支撑的每个迹线支撑可包括单独使迹线支撑的宽部和窄部互相连接的锥形部，且锥形部限定了从宽部到窄部时的变窄宽度。每个第二中间表面可在它们各自的锥形部使多个迹线支撑的一对相邻的迹线支撑互相连接。这具有以下效果:如果仅受到窄部的底切处理，从宽部过渡到窄部不会破坏。
[0012]第一顶表面包括第三中间表面，每个第三中间表面单独使第二多个接触垫支撑的一对相邻的接触垫支撑互相连接，且第三中间表面提供在第一层级上。这具有降低接触垫短路的风险的效果。
[0013]第三多个迹线支撑的每个迹线支撑可限定第一迹线支撑底切，其提供在宽部和在迹线支撑边界处并且部分地底切了在迹线支撑的宽部的迹线支撑区。这具有进一步降低短路风险的效果。
[0014]第一迹线支撑底切可限定第一底切深度大于100nm、200nm、300nm、400nm、500nm、600nm、700nm、800nm 或 900nm。
[0015]第三多个迹线支撑的每个迹线支撑可限定第二迹线支撑底切，其提供在窄部和迹线支撑边界处且部分底切了在迹线支撑的窄部处的迹线支撑区。这具有进一步降低短路风险的效果。
[0016]第二迹线支撑底切可限定第二底切深度小于100nm、90nm、80nm、70nm、60nm或50nmo
[0017]第一迹线支撑底切可以比第二迹线支撑底切深。这具有进一步降低短路风险的效果O
[0018]第二多个接触垫支撑的每个接触垫支撑可限定接触垫支撑底切，其提供在接触垫支撑边界处且部分底切了接触垫支撑的接触垫支撑区。
[0019]第一迹线支撑底切和接触垫支撑底切可具有近似相同的底切深度。这具有多点探针易于制造的效果。
[0020]迹线支撑区在第三多个迹线支撑的每个迹线支撑的窄部处可以是凸起的。这具有支撑的迹线不存在任何尖角的效果，并且预期降低了当聚合在探针尖端上时小的短路颗粒粘在紧密定位的迹线之间的风险。
[0021]探针尖端可以进一步包括:尖端基部，该尖端基部具有近端和远端且由板状尖端结构构成，该板状尖端结构限定了第二顶表面、第二底表面和使第二顶表面与第二底表面互相连接的第二边沿，第二顶表面沿着从近端延伸到远端的第一侧边缘、在相对于第一侧边缘的尖端结构的相对侧上且从近端延伸到远端的第二侧边缘和使第一侧边缘与第二侧边缘互相连接的前边缘连接到第二边沿，该尖端基部在其近端连接到基部；第六多个接触电极支撑，该第六多个接触电极支撑提供在第二顶表面上且由尖端基部支撑，每个接触电极支撑是细长的且从近端在朝着远端的方向上延伸，且每个接触电极支撑具有轮廓，该轮廓限定了包围接触电极支撑区的接触电极支撑边界；以及第一多个接触电极的每个接触电极由第六多个接触电极支撑的接触电极支撑单独地支撑，且由覆盖支撑接触电极支撑的接触电极支撑区的金属电极层构成；第一多个和第六多个数量相等；第二顶表面包括第四中间表面，每个第四中间表面单独使第六多个接触电极支撑的一对相邻的接触电极支撑互相连接；以及第四中间表面提供在第四层级上，接触电极支撑区提供在相对于尖端基部的第四层级上方的第五