一种探针和引脚自动对准的方法及其探针台测试系统的制作方法 专利名称：一种探针和引脚自动对准的方法及其探针台测试系统的制作方法 技术领域： 本发明涉及半导体芯片自动测试设备的自动对准方法，尤其涉及一种探针和引脚自动对准的方法及其探针台测引脚能够自动对准，而不需要操作者对待测器件引脚位置的目测和对探针与引脚之间相对位置的控制。能够大大减少测试时间，提高测试效率，并且可以保证探针与引脚之间更充分接触，提高测试信号的质量。为实现上述目的，本发明提供了一种探针和引脚自动对准的方法，包括以下步骤:第一步、探针通过探针架固定在探针位移装置上，包含:如果待测器件的引脚个数是I个，则使所述探针的定位测试探针和定位轴线处于一条直线上；如果待测器件的引脚的个数是2个，则使所述探针的定位测试探针和定位轴线处于一条直线上，且使所述探针的辅助定位测试探针和辅助定位轴线处于一条直线上；如果待测器件的引脚个数多于2个，则使所述探针的定位测试探针和定位轴线处于一条直线上，使所述探针的辅助定位测试探针和辅助定位轴线处于一条直线上，使所述探针的一个或一个以上非定位测试探针中的每一个与一条非定位轴线处于一条直线上，并设置所述定位测试探针、所述辅助定位测试探针和所述非定位测试探针的相对位置以使每条所述定位轴线、所述辅助定位轴线和所述非定位轴线都仅与所述待测器件的一个引脚相交；所述非定位轴线和所述辅助定位轴线都与所述定位轴线平行；第二步、将所述待测器件固定于一个位于样品位移装置上且可在定位调整面上运动的夹具上，包含:如果所述待测器件引脚的个数是I个，则使所述定位调整面和所述定位轴线垂直且相交于定位交点，并将所述定位交点的相对位置信息预先存储于控制器中；如果所述待测器件引脚的个数多于I个，则使所述定位调整面和所述定位轴线垂直且相交于定位交点，且使所述定位调整面和所述辅助定位轴线垂直且相交于辅助定位交点，将所述定位交点的相对位置信息和所述辅助定位交点的相对位置信息预先存储于所述控制器中；第三步、如果所述待测器件引脚的个数是I个，则定义其为定位引脚，并向所述控制器输入所述待测器件的所述定位引脚尺度和所述定位引脚与所述夹具的相对位置信息；如果所述待测器件引脚的个数多于I个，则定义一个所述引脚为定位引脚且定义另一个所述引脚为辅助定位引脚，并向所述控制器输入所述待测器件的所述定位引脚尺度和所述定位引脚与所述夹具的相对位置信息以及所述辅助定位引脚尺度和所述辅助定位引脚与所述夹具的相对位置信息；第四步、所述控制器发出指令控制所述样品位移装置运动，使所述夹具在所述定位调整面上运动，从而将所述待测器件的引脚移至所述定位交点所在的位置，再使所述探针向下运动以观测对准情况，然后使所述探针恢复至原来位置或者进入第五步；或所述控制器发出指令控制所述探针位移装置运动，使所述定位测试探针在平行于所述定位调整面的平面上运动，从而将所述定位测试探针移至所述定位交点所在的位置，再使所述探针向下运动以观测对准情况，然后使所述探针恢复至原来位置或者进入第五 I K 少；第五步、如果所述待测器件引脚的个数多于I个，则通过所述控制器控制所述探针位移装置或所述样品位移装置，使所述辅助定位轴线与所述辅助定位引脚相交；如果所述待测器件引脚只有I个，进入第六步；第六步、所述控制器发出指令使所述探针沿着所述定位轴线向下运动，并与所述待测器件的引脚接触。进一步地，第一步中所述探针位移装置能沿所述定位轴线运动，沿所述定位轴线的所述运动包含:沿所述定位轴线且在平行于所述定位调整面的平面上直线运动，沿所述定位轴线且在平行于所述定位调整面的平面上曲线运动，及沿所述定位轴线运动在平行于所述定位调整面的平面上直线运动和曲线运动。进一步地，第二步中所述样品位移装置能沿所述定位轴线运动，沿所述定位轴线的所述运动包含:沿所述定位轴线且在所述定位调整面上直线运动，沿所述定位轴线且在所述定位调整面上曲线运动，及沿所述定位轴线且在所述定位调整面上直线运动和曲线运动。本发明还提供了一种探针和引脚自动对准的探针台测试系统，应用上述任何一种方法，包括:所述探针、所述探针架、所述探针位移装置、所述夹具、所述样品位移装置、所述控制器、机械支撑装置、信号传输装置和电源装置；所述探针用于和所述待测器件的所述引脚接触，固定于所述探针架上，所述探针架是能够固定所述探针的支撑结构，与所述探针位移装置相连接，所述探针架可拆卸，能够根据待测器件引脚相对位置的不同更换所述探针；所述探针位移装置能够带动所述探针移动，调整所述探针与待测器件引脚之间的相对距离；所述夹具位于所述样品位移装置上，用于固定所述待测器件；所述样品位移装置能够带动所述夹具移动，调整所述待测器件的所述引脚与所述探针之间的相对距离；所述控制器控制所述探针位移装置和所述样品位移装置移动，同时存储、处理、
