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一种悬臂式探针的制作方法.docx


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一种悬臂式探针的制作方法
专利名称:一种悬臂式探针的制作方法
技术领域:
本发明涉及金属制品领域,特别是涉及一种悬臂式探针。
背景技术:
随着经济的发展,社会的进步,集成电路的功能越来越多,而集成电路的体积却越来越小,集成电路要经一种悬臂式探针的制作方法
专利名称:一种悬臂式探针的制作方法
技术领域:
本发明涉及金属制品领域,特别是涉及一种悬臂式探针。
背景技术:
随着经济的发展,社会的进步,集成电路的功能越来越多,而集成电路的体积却越来越小,集成电路要经过氧化、光刻、扩散、外延、蒸铝等半导体制造工艺,把构成具有一定功能的电路所需的半导体、电阻、电容等元件及它们之间的连接导线全部集成在一小块硅片上,然后焊接封装在一个管壳内的电子器件,这种制作工艺复杂,一旦某一个硅片出现不良,整个集成电路都会报废,因此,硅片的检测变的至关重要,硅片的检测直接影响着集成电路的成本、生产效率和合格率。
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供一种结构简单、稳定性好、抗扰性好、检测的准确度高、使用效果好的悬臂式探针。为解决上述技术问题,本发明采用的一个技术方案是:提供一种悬臂式探针,多个第一探针本体和多个第二探针本体,所述第一探针本体包括第一针尖、陶瓷环和第一针体,所述第一针尖与所述第一针体固定连接,所述陶瓷环固定连接在所述第一针体的中心处,所述第一针尖与所述第一针体的夹角为100-108度,所述第二探针本体包括第二针尖、树脂和第二针体,所述第二针尖与所述第二针体固定连接,所述树脂固定连接在所述第二针体的中心处,所述第二针尖与所述第二针体的夹角为100-108度,所述第一探针本体与所述第二探针本体相间隔排列。在本发明一个较佳实施例中,所述第一针尖与所述第二针尖位于同一水平平面上。 在本发明一个较佳实施例中,所述第一探针本体与所述第二探针本体相平行。在本发明一个较佳实施例中,所述所述陶瓷环与所述树脂相接触。在本发明一个较佳实施例中,所述陶瓷环的长度与所述大于所述树脂的长度。本发明的有益效果是:本发明悬臂式探针结构简单、稳定性好、抗扰性好、检测的准确度高、使用效果好。
图1是本发明悬臂式探针一较佳实施例的结构示意图。
具体实施例方式下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述,以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。请参阅图1,一种悬臂式探针,包括:多个第一探针本体和多个第二探针本体,所述第一探针本体包括第一针尖11、陶瓷环12和第一针体13,所述第一针尖11与所述第一针体13固定连接,所述陶瓷环12固定连接在所述第一针体13的中心处,所述第一针尖11与所述第一针体13的夹角为101度,所述第二探针本体包括第二针尖21、树脂22和第二针体23,所述第二针尖21与所述第二针体23固定连接,所述树脂22固定连接在所述第二针体23的中心处,所述第二针尖21与所述第二针体23的夹角为101度,所述第一探针本体与所述第二探针本体相间隔排列。第一探针本体与所述第二探针本体上下方向上和左右方向上都是相间隔的固定连接在检测基板3上,由于第一探针本体和第二探针本体是密集形的固定连接在基板3上,附图中采用了简略画法,省去了基板3上其他的多个第一探针本体和第二探针本体。第一针尖11和第一针体13是接触连接的,而陶瓷

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