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一种加速度计的制作方法
一种加速度计的制作方法
本发明公开了一种加速度计，包括基片和固定在基片上的加速度计主体，而加速度主体包括若干并联的敏感单元，其中，敏感单元包括：质量块，其纵向两端通过弹性件与基片固接，弹性件设置在质量块的纵向两端相较于现有的变间隙的电容变化方式，这种方式不仅能够消除固有的非线性因素，还能够提闻动齿的许可变动范围，有利于提闻传感器的量程。
[0025]同时，本发明提供的加速度计中的弹性件采用多个弹性片并排连接的方式。这样，在同样支撑刚度的情况下，相较于现有的加速度计，该方式具有更高的模态分离比，能够更好地一致加速度计的交叉轴耦合影响，从而减小加速度计的横向效应。这样有助于减小加速度计的测量误差，提高加速度计的准确度。而采用多个弹性片并排连接的方式还能够使得符合性能要求的弹性片的参数范围增大，有利于结构设计时的调整。
[0026]本发明提供的加速度计采用变面积的敏感方式，加工工艺兼容现有方案。该加速度计能够通过与现有的高量程硅微机械加速度计结构相组合，来实现单晶片的三轴高量程硅微机械加速度计的集成，为进一步提高加速度计性能、降低加速度计成本和体积提高了可行性。
[0027]本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
【专利附图】
【附图说明】
[0028]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要的附图做简单的介绍:
[0029]图1是根据本发明一个实施例的加速度计的结构图；
[0030]图2是本发明提供的加速度计中敏感单元的结构图；
[0031]图3a是现有的加速度计中的齿组结构示意图；
[0032]图3b是本发明提供的加速度计中的齿组结构示意图；[0033]图4是根据本发明一个实施例的弹性件参数关系图。
【具体实施方式】
[0034]以下将结合附图及实施例来详细说明本发明的实施方式，借此对本发明如何应用技术手段来解决技术问题，并达成技术效果的实现过程能充分理解并据以实施。需要说明的是，只要不构成冲突，本发明中的各个实施例以及各实施例中的各个特征可以相互结合，所形成的技术方案均在本发明的保护范围之内。
[0035]图1示出了根据本实施例所提供的加速度计的结构图。
[0036]如图1所示，本实施例中，加速度计包括基片101和固定在基片101上的加速度计主体102。其中，加速度计主体102包括若干并联的敏感单元103。多个敏感单元103并联能够有效提高加速度计的基础电容量，从而有助于提高加速度计的灵敏度和分辨率，还有助于改善加速度计的测量精度。
[0037]图2示出了本实施例提供的加速度计的敏感单元103的结构图。
[0038]如图2所示，本实施例中，敏感单元103包括质量块201、弹性件202和第一固定座203。为了进一步构成电容差动的变化形式，消除共模干扰，本实施例所提供的敏感单元还包括第二固定座204，但本发明不限于此。
[0039]质量块201的纵向(即沿y轴方向)两端通过弹性件202与基片101固接。而弹性件202设置在质量块201的纵向两侧，其第一端202a与固定在基片101上的固定基座