加速度计的制作方法.docx

加速度计的制作方法
加速度计的制作方法
本发明提供一种加速度计，包括基板、检测质量块及支撑基座，支撑基座固定在基板上，检测质量块通过一相对设置的弹片以非对称的方式悬置在支撑基座的表面，当加速度计存在一与基板表面垂直方向的加速度时，检测质图2所示为图1中的A-A截面示意图。参见图1及图2所示,所述加速度计100包括基板1、检测质量块2及支撑基座3。
[0018]所述支撑基座3固定在所述基板I上，在本【具体实施方式】中，所述支撑基座3采用一点固定的方式固定在基板I上，在本发明另一【具体实施方式】中，所述支撑基座3采用多点固定的方式固定在基板I上。
[0019]所述检测质量块2通过一相对设置的弹片21以非对称的方式悬置在所述支撑基座3的表面。所述弹片21可以利用悬臂式、螺旋形、支梁型等结构来实现。所述非对称的方式指的是，以弹片21所在直线为分界线，检测质量块2位于弹片21两侧的质量不相等，检测质量块2位于弹片21 —侧的质量大于检测质量块2位于弹片21另一侧的质量。在此，定义所述检测质量块2质量较大的一侧为第一质量块23，检测质量块2质量较小的一侧为第二质量块24。当所述加速度计100存在一与基板I表面垂直方向的加速度时，例如，加速度计100存在一 Z轴方向的加速度，所述检测质量块2以弹片21所在直线为轴转动。由于检测质量块2以非对称的方式通过相对设置弹片21悬置在支撑基座3的表面，所以，所述检测质量块2以弹片21所在直线为轴向第一质量块23 —侧倾斜旋转。
[0020]所述基板I包括第一限位块11，用于限制所述检测质量块2可以转至的最大位置。在所述检测质量块2向所述基板I运动的情况下，当第一质量块23接近基板I至一定距离，所述第一限位块11触碰所述检测质量块2的第一质量块23，使得检测质量块2受到一个力的作用，检测质量块2停止向基板I运动并复位，从而限制所述检测质量块2在第一质量块23侧可以转至的最大位置，防止检测质量块2触碰所述基板I。在本发明中，该力定义为检测质量块2的恢复力F。所述第一限位块11的数目不限，可以根据具体加速度计的设计需要而设置。在本【具体实施方式】中，所述第一限位块11为两个，对应于所述第一质量块23设置，以防止所述检测质量块2触碰到所述基板I。如图1中所示，采用虚线表示出第一限位块11。
[0021]进一步，为了限制所述检测质量块2的第二质量块24可以转动的最大位置，确保所述检测质量块2在运动过程中不触碰所述基板I，所述基板I还包括第二限位块22，所述第二限位块22对应于检测质量块2质量较小的一侧设置，即对应于第二质量块24设置。在所述检测质量块2向所述基板I运动的情况下，当检测质量块2的第二质量块24接近基板I至一定距离，所述第二限位块22触碰所述第二质量块24，使得检测质量块2受到一个力的作用，第二质量块24停止向基板I运动并复位，从而限制所述检测质量块2在第二质量块24侧可以转至的最大位置，防止检测质量块2触碰所述基板I。所述第二限位块22的数目不限，可以根据具体加速度计的设计需要而设置。在本【具体实施方式】中，所述第二限位块22为两个，并与所述第一限位块11对应设置。在本发明其他【具体实施方式】中，所述第一限位块11及第二限位块22均为一个，如图3所示，第一限位块11及第二限位块22分别设置在第