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一种pind检测设备用合成传感器的制造方法
一种pind检测设备用合成传感器的制造方法
一种PIND检测设备用合成传感器，它涉及一种合成传感器。本发明为了解决现有多余物检测试验效率低、效果差，声发射传感器寿命短，电磁屏蔽线易损坏等问题。体内，同时实现了声发射传感器和加速度传感器功能，减少了试验容量和难度，单次检测时间缩短了 3分钟。
[0012]2、通过固定底盖底面的螺纹，将合成传感器信号采集部分牢靠的固定在振动台的中心位置，使得加速度敏感元件能最大程度的接收振动台的振动能量，以完成信号采集任务。
[0013]3、声发射敏感元件由软质橡胶固定在敏感件腔体内，和耦合载物台组合构成一个声发射传感器，省去了粘贴声发射传感器的流程，减小了试验强度，提高了声发射传感器的使用寿命。传感器使用寿命，在正常情况下可以达到4-5年，但由于多次的粘贴而发生的偶然事件(例如磕碰、掉落等)，使其寿命降到I年以内。而本发明省去了上述粘贴流程，通过固定传感器，使得偶然事件发生概率降低，从而可达到正常传感器的使用寿命。
[0014]4、由于耦合载物台的设计，只需将待测件粘贴在耦合载物台的正面就能完成待测件与声发射传感器的接触，达到可试验状态，转变了试验测试思路，避免了声发射传感器的损坏与噪声的引入。
[0015]5、声发射敏感元件粘贴在耦合载物台背面的中心位置，是声发射波接收的最佳位置，有选择性的将待测件放置在耦合载物台的中心位置将有利于信号的采集。
[0016]6、由于采用柔性电路板连接敏感元件和接线柱,敏感元件随振动台电枢一起振动而接线柱与电枢振动无关，使得接线柱所接高频屏蔽线避免了振动，增加了高频屏蔽线的使用寿命，保证了其稳定性；而柔性电路板柔软耐用，保证了合成传感器数据传输的稳定性与精确度。接线柱与敏感元件间用SMA头连接，机械寿命为I万次以上；柔性电路板的机械寿命可达到7-20万次，使用寿命得到提高。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1是本发明PIND检测设备用合成传感器的总装剖视图；图2是柔性电路板的结构图；图3是声发射敏感元件及其载体结构的剖视图；图4是敏感件腔体与固定底盖连接部分的俯视图；图5是固定底盖侧面的侧视图；图6是固定底盖的剖视图；图7是固定底盖的俯视图；图8是接线柱固定座的剖视图；图9是接线柱固定座的正视图；图10是连接件的剖视图；图11是接线柱固定台的剖视图；图12是接线柱固定台的正视图；图13是本发明PIND检测设备用合成传感器的使用简化示意图；图14是现有技术中PIND检测设备用合成传感器的卡具使用简图。
[0018]本发明装置中各部件名称以及标号如下:
[0019]声发射敏感元件1、敏感件腔体2、耦合载物台3、圆管柱体4、固定螺钉5、质量块
6、加速度敏感元件7、正六边形柱体8、固定底盖9、连接件10、柔性电路板11、接线柱固定台12、接线柱固定座13、橡胶件16、扁圆柱体23、导线二 24、通孔一 29、通孔二 30、通孔三31、螺纹孔一 33、螺纹孔二 34、螺纹孔三35、螺纹孔四37、空腔40、螺钉孔47、螺钉孔二 49、螺钉孔三51、螺钉孔四52、空腔53、螺钉孔五54、输出端55、输入端57、加速度传感器70、待测器件71、多余物72、振动台73、声发射传感器74、合成传感器信号采集部分75、合成传感