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恒温维持装置的制作方法
专利名称：恒温维持装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及使外部热负荷装置的温度保持一定用的恒温维持装置，特 别涉及半导体制造装置等所用的制冷装置等的、使一定温度的液体热介质 循环从而使外部热负荷装置的温度保持一种即使在远离外部热负荷装置的地方设置主单元，也 可保证温度响应性和温度精度的恒温维持装置为第3目的。
课题的解决手段
本发明的恒温维持装置的特征在于，由主单元和辅助单元构成，该主 单元具备高温热介质循环液生成装置和低温热介质循环液生成装置，该高 温热介质循环液生成装置生成被调整到预定的温度的高温热介质循环液， 该低温热介质循环液生成装置生成被调整到预定的温度的低温热介质循 环液；该辅助单元具备恒温热介质循环液生成装置，该恒温热介质循环液 生成装置通过直接混合上述高温热介质循环液和上述低温热介质循环液，同时按照上述外部热负荷装置的温度控制该高温热介质循环液和该低温 热介质循环液的流量比，生成预定的设定温度的热介质循环液。
作为上述高温热介质循环液生成装置的热源，可使用从由冷冻机循环 系统中得到的高温侧的热介质、加热器及工厂设备用水构成的群组中选择 的至少1个热源，作为上述低温热介质循环液生成装置的热源，可使用从 由冷冻机循环系统中得到的低温侧的热介质、加热器及工厂设备用水构成 的群组中选择的至少1个热源。
也就是说，作为高温热介质循环液生成装置的热源，可使用由冷冻机 循环系统中得到的高温侧的热介质，作为低温热介质循环液生成装置的热 源，可使用由冷冻机循环系统中得到的低温侧的热介质。在该方式中，为 了微调高温热介质循环液或/和低温热介质循环液的温度可并用加热器。此 外，在该方式中利用了废热，因此热效率变高。
此外，作为高温热介质循环液生成装置的热源，也可使用加热器，作 为低温热介质循环液生成装置的热源，也可使用工厂设备用水。
此外，作为高温热介质循环液生成装置的热源，也可使用加热器，作 为低温热介质循环液生成装置的热源，也可使用由冷冻机循环系统中得到 的低温侧的热介质。
进一步的，作为高温热介质循环液生成装置的热源，也可使用工厂设 备用水，作为低温热介质循环液生成装置的热源，也可使用由冷冻机循环 系统中得到的低温侧的热介质。
此外，进一步地，在可确保高温工厂设备用水和低温工厂设备用水的 制造厂，作为高温热介质循环液生成装置的热源，也可使用高温工厂设备 用水，作为低温热介质循环液生成装置的热源也可使用低温工厂设备用 水。
这样，由冷冻机循环系统得到的热介质、工厂设备用水及加热器作为 高温侧的热源及低温侧的热源，可使用上述以外的各种的组合。特别是加 热器与设定温度的微调用的其他的热源并用的话，很方便。
作为上述恒温热介质循环液生成装置，可使用具备三通阀和搅拌混合送出装置的装置，该三通阀具备高温热介质循环液流入的流入口、低温热 介质循环液流入的流入口、恒温热介质循环液流出的流出口及控制高温热
介质循环液和低温热介质循环液的流量比的控制阀；该搅拌混合送出装置 搅拌混合并送出恒温热介质循环液。控制与低温热介质循环液的流量比的 控制阀需要具备按照外部热负荷装置的温度控制其开度的三通阀控制装置。
上述三通阀控制装置具有根据从流入外部热负荷装置侧的恒温热介 质循环液的温度、上述外部热负荷装置流出侧的恒温热介质循