pvd镀黑.doc

------------------------------------------------------------------------------------------------ —————————————————————————————————————— PVD 镀黑黑色实验总结 1 、材料对比⑴ TiC TiC 是最常见、最经济的一种黑色硬质膜。颜色可以做到比较深, 耐磨性能也很好, 但其色调不够纯正, 总是黑中略带黄色。并且由于钛的熔点相对较低, 在溅射时易出现大的颗粒, 使其光令度不易得到改善。防指印的能力也不好,擦后变黄、变朦。⑵ CrC CrC 的总体色调相对 TiC 要好, 虽然达不到 TiC 那样黑, 但更纯正, 带白。由于铬在溅射时直接由固态直接变为气态, 故虽然铬的溅射系数很大, 膜层沉积速率很快, 但其光令度却比 TiC 好。防指印性能也比 TiC 好。 Cr 为脆性材料, 膜层的残余应力对耐磨性能的影响尤为重要。⑶ TiAlC 由于铝有细化晶粒的作用,所以 TiAlC 膜层的光令度和防指印的能力均较好。但是铝的熔点很低, 要求铝靶的冷却效果要好, 施加在铝靶上的功率也不能太大。从 TiAlC 膜层本身来说,也要求铝的含量要低, 不然不够黑。但如果铝靶的功率太低, 很容易中毒。建议采用平面铝靶或使用一定铝含量的铝钛合金靶材。⑷ TiCrAlC TiCrAlC 是用小平面靶试电的, 结果光令度和防指印的能力很好, ------------------------------------------------------------------------------------------------ ——————————————————————————————————————这可能有两个原因:①材料本身的光令度和防指印的能力较好;②采用平面靶轰击打底。其耐磨能力也比较好,这可能是由于: ① TiCrA l 靶材致密;② TiCrAlC 本身比较耐磨;③小平面靶的功率密度比较高, 溅射出的粒子能量较高,故膜层致密。⑸ 是一种硬度与耐磨性能较好的薄膜,其颜色甚至可以比 TiC 更黑,手摸起来不光滑,有粘粘的感觉,但防指印的能力却很好,擦后不会变色,也不会变朦。 2 、实验机配置⑴电源① AE 中频电源 AE 电源的精度很高,对靶材的要求不高,电源自我保护的能力比较强,也因此对真空度等外界条件的要求更苛刻, 易灭辉。镀出的 CrC 膜层光令度与防指印的效果较好, 但颜色黑中带蓝。耐磨性能也是试过的电源中最好的。②新达中频电源新达电源的功率比较大, 可以并机使用的它的一大优势。镀出的 CrC 膜层很黑,但带白,耐磨能力比 AE 电源镀出的膜层要查差。③盛普中频电源盛普电源的稳定性相对其它电源来说要差一些,实际功率不大。镀出的 CrC 膜层略显黄色,并且不耐磨。④实力源中频电源实力源电源的功率是最大的,但是在低功率使用时辉光不稳定, 大功率时噪音又比较大。⑤盛普直流电源直流电源的辉光呈蓝色, 说明溅射出的粒子的能量高一些。但直------------------------------------------------------------------------------------------------ ——