使用TFCalc编辑膜系的方法.docx

使用TFCalc编辑膜系的方法（简易操作步骤）
假设我们要设计一个反射率＞%高反膜系（波长10600nm）：
条件：
（1） 基底材料：GaAs
（2） 膜料：ZnSe，YF3
具体步骤：

Material （材料）：后面框内输入材料名称
Thickness:厚度：后面框内输入厚度值（四分之一波长数），该值最好为大于0的正整数
Optimize （优化）：后面的框内输入“yes”或“No”
Group （组）：后面的框内输入1
下面的3个按钮的意思是：
Generate Layers :生成膜系，完成后点击该按钮将生成膜系
中间是取消
Clear formula :清除公式。点击该按钮将不保存已经输入的膜堆公式，否则将下次进入该对话框将出 现上次输入的膜堆公式
输入膜堆公式，选择H （高折射率材料）和L（低折射率材料）等参数后的对话框如下：
如上图所示，膜堆公式为（HLN8H，省略了 G，完整的应该是G（HL）A8H，意思是：
GHLHLHLHLHLHLHLHLH
厚度选择“7”是因为我们在环境对话框中将参考波长选择为1580nm（已经调好波长值），最好是10600 能整除的数，此地我们设为7，，7X1580nm比较接近10600nm。如果发现不合适可以调整该值。
点击“generate layers”按钮，生成膜系
（b）选择“modify”菜单中的第三项“Layer-Front”，弹出如下窗口：
ES Layers -
-Front
凶
Oji t i onz flui-a Opt i cnz
La^er
1
2
3
4
5
6
M aterial
ZNSE
YF3
ZNSE
YF3
ZNSE
YF3
QWOT
zaaaa

zaaoo



Thickness [non]






Optimize?
Yes
Yes
Yes
Yes
Yes
Yes
G roup
1
1
1
1
1
1
Cor strain?
No
No
No
Na
No
Na
Min. Thickness：
riM
rm
nm
rm
Cl. 0000 nm
nm
Mas. Thickress
nm
rm
nm
rm
nm
nm
Needles?
Yes
Yes
Yes
Yes
Yes
Yes
』i r
卜
图中显示的是我们刚刚生成的膜系，用鼠标点击图下方滑动框的空白处，可以看到该膜系一共17层。 图中的英文意思是：
Layer:层；Material:膜料；QWOT：四分之一波长数；
Thickness（nm）:厚度（该厚度为物理厚度，与QWOT是相关的，二者的关系：n*d=："N，式中，n是 膜层的折射率，d是膜层的物理厚度，入是参考波长，N是QWOT。例如我们来计算第一层： d= ^*N=?f80*L=115Q-74nm，与实际结果有偏差，可能是折射率数据或波长不是四分之一相关的原 4*n 4*
因）
Constran:强制；Needles:针优化
图形最上方是二个选择菜单（Options和More Options），其功能稍后再介绍。
至此我们已经完成了利用第一种方法膜系设计。
（2）
（a）
直接在Layer-Front窗口输入数据
ayers - Front
选择“modify”菜单中的第三项“Layer-Front”，弹出如下窗口:
1口
（b）
Add Front Layers...
Dele te Frcmt Lay er e...
FriKt Front Layers
Copy Front Layer e From...
Append Front Layers From...
Reverse Front Layers
Adjust Frcmt Layers tor Angl^...
CjDns cl i dat e Fron t Layer 三
Compute EquivsileTit IrideH...
Compute Equ2¥：dliiLt St ack...
ShQW TkiicknTw; Totals,,,
Reai Layer Bata f