二维微机械气体摆式加速度计与倾角传感器.pdf.pdf

第卷第期压电与声光..
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二维微机械气体摆式加速度计与倾角传感器
张福学,赵启凤,岳萍,郭亨
北京信息科技大学传感技术研究中心,北京
摘要:论述了气体摆的机理,分析了密闭腔中自然对流气体的浮升力及浮升力与温度变化的关系式。该文
给出了二维微机械气体摆式加速度计与倾角传感器的结构原理和信号处理电路,并通过对实际制作的两维微机械
气体摆式加速度计和倾角传感器样机进行测试。结果表明,在±和±。时,两维微机械加速度计和微机械倾
角传感器的非线性度均小于%。
关键词:气体摆;微机械;加速度计;倾角传感器
中圈分类号: 文献标识码:
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第期张福学等:二维微机械气体摆式加速度计与倾角传感器
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