精密和超精密加工的机床设备技术.pptx

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Precisionandultraprecisionmachining
精密和超超精密加加工技术术
第4章精精密和超超精密加加工的机机床设备备
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第1节精密和超超精密机机床发展展概况及及典型机机床简介介
精密机床床是实现现精密加加工的首首要基础础条件。。
1)美国::50年代首先先发展了了金刚石石刀具的的超精密密切削技技术,并并发展了了相应的的空气轴轴承主轴轴的超精精密机床床;1983~1984研制成功功大型超超精密金金刚石车车床DTM-3型和LODTM大型超精精密车床床。
2)英国:1991粘研制成功功大型超精精密机床OAGM2500。
3)日本:现现在在中小小型超精密密机床生产产上已经具具有一定的的优势,甚甚至超过了了美国。
4)中国:JCS-027超精密车床床、JCS-031超精密铣床床、JCS-035超精密车床床等。
一、发展概概况
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二、典型机机床简介
第1节精密和超精精密机床发发展概况及及典型机床床简介
UnionCarbide公司
的半球机床床
能加工直径径100mm的半球,达达到尺寸精精
,。
精密空气轴轴承主轴采采用多孔石石墨制成
轴衬,径向向空气轴承承的外套可可以调整
自动定心,,可提高前前后轴承的的同心度,,
以提高主轴轴的回转精精度。
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二、典型机机床简介
Moore车床
由Moore3型坐标测量量机改
造而成。采采用卧式主主轴,
三坐标精密密数控,消消振和
防振措施,,加强恒温温控制等。。
M-18AG型超精密非非球面车床床,
基本结构同同Moore3,采用空
气静压轴承承主轴、气气浮导轨、、
双坐标双频频激光测量量系统、
优质铸铁床床身,有恒恒温油浇
淋机和空气气隔振垫支支承。
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二、、典典型型机机床床简简介介
Pneumo公司司的的MSG-325超精精密密车车床床
采用用T形布布局局,,机机床床空空气气主主轴轴的的径径向向圆圆跳跳动动和和轴轴向向
。床床身身溜溜板板用用花花岗岗岩岩制制造造,,导导
轨为为气气浮浮导导轨轨;;
双坐坐标标精精密密数数控控系系统统驱驱动动,,用用HP5501A双频频激激光光干干涉涉仪仪
精密密检检测测位位移移。。
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二、、典典型型机机床床简简介介
DTM-3大型型超超精精密密车车床床
采用用精精密密数数控控伺伺服服方方
式,,控控制制部部分分为为内内装装式式
CNC装置置和和激激光光干干涉涉测测长长
仪,,精精确确测测量量定定位位,,在在
DC伺服服机机构构内内装装有有压压电电
微位位移移机机构构,,实实现现纳纳米米
级微微位位移移。。
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二、典型机床床简介
大型光学金刚刚石车床LODTM
机床采用立式式结构,采用用止
推轴承,7路高分辨力双双频激光
测量系统,4路激光检测横横梁上
溜板的运动,,3路激光检测刀刀架
上下运动位置置,使用在线线测量
和误差补偿,,各发热部件件用大
量恒温水冷却却,用大的地地基,
地基周围有防防振沟,且整整个机
床用4个大空气弹簧簧支承。
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二、典型机床床简介
OAGM2500大型超精密机机床
机床的x和y向导轨采用液液
体静压,z向的磨轴头和和
测量头采用空空气轴承。床床
身采用型钢焊焊接结构,用用
精密数控驱动动,双频激光光
测量系统检测测运动位置。。