精密和超精密加工的机床设备技术.ppt

Precisionandultraprecisionmachining精密和超精密加工技术第4章精密和超精密加工的机床设备2019/8/。1)美国:50年代首先发展了金刚石刀具的超精密切削技术,并发展了相应的空气轴承主轴的超精密机床;1983~1984研制成功大型超精密金刚石车床DTM-3型和LODTM大型超精密车床。2)英国:1991粘研制成功大型超精密机床OAGM2500。3)日本:现在在中小型超精密机床生产上已经具有一定的优势,甚至超过了美国。4)中国:JCS-027超精密车床、JCS-031超精密铣床、JCS-035超精密车床等。一、发展概况2019/8/312019/8/31二、典型机床简介第1节精密和超精密机床发展概况及典型机床简介UnionCarbide公司的半球机床能加工直径100mm的半球,,。精密空气轴承主轴采用多孔石墨制成轴衬,径向空气轴承的外套可以调整自动定心,可提高前后轴承的同心度,以提高主轴的回转精度。2019/8/31二、典型机床简介Moore车床由Moore3型坐标测量机改造而成。采用卧式主轴,三坐标精密数控,消振和防振措施,加强恒温控制等。M-18AG型超精密非球面车床,基本结构同Moore3,采用空气静压轴承主轴、气浮导轨、双坐标双频激光测量系统、优质铸铁床身,有恒温油浇淋机和空气隔振垫支承。2019/8/31二、典型机床简介Pneumo公司的MSG-325超精密车床采用T形布局,。床身溜板用花岗岩制造,导轨为气浮导轨;,用HP5501A双频激光干涉仪精密检测位移。2019/8/31二、典型机床简介DTM-3大型超精密车床采用精密数控伺服方式,C装置和激光干涉测长仪,精确测量定位,在DC伺服机构内装有压电微位移机构,实现纳米级微位移。2019/8/31二、典型机床简介大型光学金刚石车床LODTM机床采用立式结构,采用止推轴承,7路高分辨力双频激光测量系统,4路激光检测横梁上溜板的运动,3路激光检测刀架上下运动位置,使用在线测量和误差补偿,各发热部件用大量恒温水冷却,用大的地基,地基周围有防振沟,且整个机床用4个大空气弹簧支承。2019/8/31