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三氯氢硅提纯中如何去除磷硼杂质
【摘要】在三氯氢硅中,磷、硼杂质的存在,不仅影响三氯氢硅材料质量,也降低三氯氢硅产能。优化三氯氢硅提纯工艺,去除对磷、硼杂质,不仅可以降低能耗,也可以更好的控制三氯氢硅质量,提高产能。以下本篇浅析在三氯氢硅提纯中如何去除磷硼杂质。
【关键词】提纯;三氯氢硅;除硼;除磷
在实际中,要得到三氯氢硅,需要先用硅粉制备粗三氯氢硅,然后对三氯氢硅提纯,去除三氯氢硅中的硼、磷等杂质,提升三氯氢硅品质。以下对比做具体分析。

三氯氢硅的制法主要有硅粉在280-320℃条件下与氯化氢反应制备,也可通过四氯化硅在500℃条件下加氢氢化制备。

三氯氢硅中,由于磷硼杂质会参合成反应,降低三氯氢硅纯度,实现三氯氢硅提纯,则可以有效去除磷硼杂质[1]。粗硅中含有硼、磷等杂质,且杂质多以硅化构成硅酸盐,在三氯氢硅提纯中,由于其存在磷、硼等杂质,可以采用物理精馏提纯法,对三氯氢硅进行精馏,可以根据同一工况下各种物质沸点差异精馏分离三氯氢硅中的各项杂质,提高三氯氢硅纯度。三氯氢硅提纯中,应用精馏法提纯方法,工艺简单、操作方便,多用于除磷杂质
[2]。由于,三氯氢硅中,除硼效果会受到一定限制,故此在实际中三氯氢硅提纯方面,可以采用络合物法除硼。
、硼杂质的提纯操作

在三氯氢硅除磷杂质中,应用精馏提纯方法,设计精馏塔,如下图所示:
采用钟罩式的蒸馏设备,其主要有炉筒(钟罩)、电极、底盘、窥视孔以及进出气管等部分组成,观察炉内各种情况,提供炉内反应所需的温度,使电极与载体用石墨夹头进行连接;并设置列管式换热器,将还原尾气温度降低至100℃,输送到还原尾气回收工序中。
对于三氯氢硅提纯中,每段可设两到三级塔或多级塔,以提高三氯氢硅的纯度。塔的材质可以是不锈钢,不锈钢衬四氟,碳钢衬四氟,四氟塑料塔等。三氯氢硅提纯中,蒸馏塔的直径有350,600等。塔的高度有24m,32m等。在精馏塔内使欲分离液体冷凝和气化多次反复地进行。使沸点高低不同的组分分离(,)。三氯氢硅提纯除去杂质中,由于金属与非金属杂质的氯化物沸点相差很大,应用精馏提纯方法,就可以将磷杂质去除。


三氯氢硅提纯中,对于除去硼杂质中,可以应用络合物法除硼,效果较好,等络合剂与三氯化硼形成络合物,而可以除去硼杂质[3]。三氯氢硅提纯中,在温度过高知识,就会增强沉积硅中的化学活性,从而会直接影响磷硼杂质,其化合物随温度增高,还原量也增大,从而进入硅中。三氯氢硅提纯中,除硼杂质,要在开炉前,可以往炉内通入纯氮气,置换出炉内空气,进行高压启动或硅芯预热启动,确定蒸发器的温度、压力、液位达到要求后,可将混合气体按照所需的流量通入还原炉中,则可以确保立即开始进行还原反应。同时,在三氯氢硅提纯中,硅和其他的半导体材料相似,在其提纯过程中,从气相往固态载体沉积之时,都会表现出一个最高的温度值,若是除杂反应的温度超过了这个值之时,温度不断升高,则杂质沉积速率会下降。除去杂质中,温度过高,