LED各种长晶方法优缺点比较分析.ppt

LED各种长晶方法优缺点比较分析
蓝宝石晶体不同工艺优缺点比较
蓝宝石生长方法
优点
缺点
提拉法(CZ)
1) 在生长过程中,可以直接观察晶体的生长状况,这为控制晶体外形提供了有利条件2) 晶体在熔体的自内表面处生长,而不与坩埚相接触,能够显著减小晶体的应力并防止坩埚壁上的寄生成核3) 可以方便地使用定向籽晶的和“缩颈”工艺,得到不同取向的单晶体,降低晶体中的位错密度,减少镶嵌结构,提高晶体的完整性
1) 一般要用坩埚作容器,导致熔体有不同程度的污染。2) 当熔体中含有易挥发物时,则存在控制组分的困难。
热交换法
1) 固/液界面位于坩埚内,且没有拉伸的动作,不易受到外力干扰2) 由改变坩埚的外形就能改变晶体的形状3) 能够分别控制熔区及固化区之温度梯度4) 可减少浮力对流之影响5) 易于生长大尺寸晶体
1) 不适于生长强烈腐蚀坩埚的材料2) 生产过程会引入较大内应力
泡生法(KY)
1) 由于可以把原料密封在坩埚里,减少了挥发造成的泄漏和污染,使晶体的成分容易控制。2) 操作简单,可以生长大尺寸的晶体。可生长的晶体品种也很多,且易实现程序化生长。
1) 由于晶体在整个生长过程中直接与坩埚接触,往往会在晶体中引入较大的内应力和较多的杂质2) 在晶体生长过程中难于直接观察,生长周期也比较长3) 如何使籽晶在高温区既不完全熔融,又必须使它有部分熔融以进行完全生长,是一个比较难控制的技术问题
火焰法
可进行原材料烧结,可以保证密度是4 的晶体,生产成本低。
,如不能很好控制,造成晶体很多杂质。 ,晶体容易裂。
坩埚下降法
相对气泡少
,底部籽晶生长情况不便于观察
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