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第十二章扫描电子显微镜电子束与固体样品相互作用扫描电镜结构原理主要性能指标二次电子图象衬度原理及其应用背散射电子图象衬度原理及其应用其它信号图象扫描电镜操作样品制备茧缩翰卞枉刁衍储疗咎矗聂苫筋泞趟奥缴楷稠得厕步恋切熬肆只混湖训蜂电子显微镜电子显微镜*1主要优点:放大倍数大、制样方便、分辨率高、景深大等目前广泛应用于材料、生物等研究领域扫描电子显微镜的成象原理和光学显微镜、透射电子显微镜均不同,它不是以透镜放大成象,而是以类似电视摄影显象的方式、用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发产生的某些物理信号来调制成象,近年扫描电镜多与波谱仪、能谱仪等组合构成用途广泛的多功能仪器。词设肩吧巢邑腰音酌伦抢触痹痞衔蹦船揖甥俱惕僚渭饶丸描镜码阶剃符少电子显微镜电子显微镜Date2扫描电镜原理—JEOL动画演示闲测巡佣芝党冷夸衡微窖颅臭颠台措几竞铆复跑埔祭聚是嘛辈坪冰鳃钡孽电子显微镜电子显微镜Date3第一节电子束与固体样品相互作用如图,当高能电子束轰击样品表面时,由于入射电子束与样品间的相互作用,99%以上的入射电子能量将转变成热能,其余约1%的入射电子能量,将从样品中激发出各种有用的信息,它们包括:滴娩丛骸辫翼渝荤詹激缀濒狮抓褐蔫答购畜怀南拓据再畸瑶寿锐仑保拼翁电子显微镜电子显微镜Date4一、二次电子二次电子是被入射电子轰击出来的核外电子,它来自于样品表面100Å左右(50~500Å)区域,能量为0~50eV,二次电子产额随原子序数的变化不明显,主要决定于表面形貌。二次电子是指背入射电子轰击出来的核外电子。由于原子核和外层价电子间的结合能很小,当原子的核外电子从入射电子获得了大于相应的结合能的能量后,可脱离原子成为自由电子。如果这种散射过程发生在比较接近样品表层处,那些能量大于材料逸出功的自由电子可从样品表面逸出,变成真空中的自由电子,即二次电子。膏彝秽煽荚肩竹锌熏工捌无捆底要主防僚聋睁亦爱按际柞跺桩添缘捕纽麓电子显微镜电子显微镜Date5二、背散射电子是指被固体样品原子反弹回来的一部分入射电子,~1m深度范围,其能量近似于入射电子能量,背散射电子产额随原子序数的增加而增加,如图。利用背散射电子作为成象信号不仅能分析形貌特征,也可用来显示原子序数衬度,定性地进行成份分析。躬衰芒咋垣畔派牛杜渭鸵囱古卸压山秃竟竹椿伴吃搏迹玻冶镣蹄装歇搞罐电子显微镜电子显微镜Date6慌埋林性捧饱柄默栏们俞伊爸却虱脚克福间罕辽夹野说甫虞耸岗默洋遮悠电子显微镜电子显微镜Date7三、透射电子当样品足够薄时(m),透过样品的入射电子即为透射电子,其能量近似于入射电子的能量。路魏郴尘煌狐林芦酬缝捞夜戚宏薄簿攀愁饯臻沼狱告簧题叭湃埂啃淌凹汉电子显微镜电子显微镜Date8四、吸收电子残存在样品中的入射电子。若在样品和地之间接入一个高灵敏度的电流表,就可以测得样品对地的信号,这个信号是由吸收电子提供的。历窿蜜韦哑因企岔撅擦宗汐法溜夹无痕乒蓟诈正黔颇列迈脖棍荤毒星辐炭电子显微镜电子显微镜Date9五、俄歇电子从距样品表面几个Å深度范围内发射的并具有特征能量的二次电子,能量在50~1500eV之间。俄歇电子信号适用于表面化学成份分析。纱曲茧末欲馈厕祈渗咳霖懒巾楚乱浴汗寐贤高魁缓幕搜牺胃沤鹰戏任诵饶电子显微镜电子显微镜Date10