电子显微镜.ppt

、透射电子显微镜(TEM)2、扫描电子显微镜(SEM)庶购茄墨叁苛遁迹铡菌岁被部柜陶徘共忧撕套粮蚊嘱明丰自胜向整父晦捆电子显微镜电子显微镜20世纪20年代,发现电子流具有波动的性质,是一种电磁波,,,,今天的透射电子显微镜(TEM)不仅是一台放大倍数可达100万倍以上,可以直接分辨小到一两个埃的单个原子的显微镜,并且还能进行纳米尺度的晶体结构及化学组成分析,(约为2000Å),,因此光学显微镜最大放大倍数为1000倍,超过这个数值并不能得到更多的信息,。Å的原子尺寸的分辨率和50万~100万倍的放大倍数,否则就不能在底片上记录下原子的存在。目前200kV电镜的技术水平已达到放大倍数100万倍,Å,Å.Å.基本可以在底片上记录下原于的存在,、透射电子显微镜(TEM)(1).透射式电子显微镜的构造电子显微镜的结构和光学显微镜相似,由电子枪、聚光镜、样品室、物镜、,当它进入物体后,,因此,电镜内必须保持高真空,一般为10-—。电子显微镜的结构由照明系统、成像系统、,成像系统由物镜、中间镜和投影镜组成。观察和记录系统包括观察室、荧光屏和计算机等。电子枪是由阴极、,,即可从钨丝发出电子束,通过阳极孔,~200kv。电压越高,电子束对物质的穿透能力越强,可以观察较厚的样品,并且电子束对物质的辐照损伤越小。,第一聚光镜为短焦距强透镜,它将电子束斑直径缩小几十倍,而第二聚光镜采用长焦距透镜,将电子束斑成像到样品上,从而使聚光镜和样品之间有足够的工作距离,(M0)用来获得被检物的一次放大像和衍射谱,它决定显微镜的分辨率,(Mi)是个可变倍率的弱透镜,(Mp)把中间镜形成的二次像及衍射谱放大到荧光屏上,一般具有2~3个聚光镜和4~6个物镜加投影镜。:M=M0×Mi×Mp净埔涉揽摊鸣楞忿鸳侠含幼躬约启革口痘鼎镐训丧括刨喉创仇粮例挥蝎雾电子显微镜电子显微镜