单晶硅制绒.doc

,查看规格、电阻率、厚度、单多晶、厂家、编号是否符合要求;、裂纹、针孔、缺角、油污、划痕、凹痕;(见附图一、二),作统一处理。(见附图三),片盒底部衬以海绵,将硅片插入片盒中,每盒最多插25片硅片。、硅片直接接触,必须戴塑料洁净手套或乳胶手套操作。每插100张硅片,需更换手套。。(见附图四),取出片盒底部的海绵,扣好压条。、有序的装入包塑的不锈钢花篮中,每篮12个片盒,片盒之间有适当的间隔。:将各槽中破损硅片等杂质清除,用去离子水将各槽壁冲洗干净。:向5、6、8、10#槽中注满去离子水,1-4、7、9#槽中注入约一半深度的去离子水,按照“”比例分别向各槽加入指定量的化学药品,再注去离子水达到指定的高度。(见下表) 槽号1#槽2-4#槽7#9#槽功能去损伤层制绒去Na2SiO3去金属离子清洗液组成氢氧化钠氢氧化钠异丙醇硅酸钠氢氟酸盐酸NaOHNaOHIPANa2SiO3·9H2OHFHCl标准浓度(克/升)40±518±55±23±153±584±5加入试剂9千克2千克12升6千克16升32升加入试剂(瓶)18431248液面高度(厘米)::1#槽按水、氢氧化钠的顺序;2-4#槽按硅酸钠、氢氧化钠、异丙醇的顺序。7#槽按水、氢氟酸、水的顺序;9#槽按水、盐酸、水的顺序。:2-4#槽按硅酸钠、氢氧化钠配制完毕后,需等待10分钟之后硅酸钠、氢氧化钠完全溶解后,才能加异丙醇。1#槽配制完毕后,温度达到工艺要求之后,同时2-4#槽的其中一槽加硅酸钠、氢氧化钠10分钟后,才可进硅片。:需用塑料管或漏斗将异丙醇加到制绒槽的底部,在硅片进入1#槽之后才能加异丙醇,减少异丙醇的挥发。:电子纯,容量500克/瓶,浓度≥98%。:电子纯,容量4升/瓶,浓度≥%,。:电子纯,容量500克/瓶。:MOS级,容量4升/瓶,浓度36%~38%,。:MOS级,容量4升/瓶,浓度≥49%,。(见下表)、9#槽不需补加化学药品,1-4#槽每清洗一篮硅片按以下要求补加:槽号1#槽2~4#槽每清洗一篮硅片排液(cm)±±10g25±10g4升(一瓶)备注清洗停止1小时以上,每停1小时,需补加2升IPA,最多补加6升()。(见下表)工艺正常操作时(不允许全部排液、重新配液)槽号1#槽2~4#槽7#槽9#槽更换周期24小时24小时12小时12小时更换时间早班交接班早班交接班交接班交接班工艺不正常时(1~4号槽)更换条件工艺不正常状态1连续停机8小时以上,要求全部换液重配工艺不正常状态22~4#槽,其中一槽连续3篮硅片出现白斑,可以对该槽单独重新配液。工艺不正常状态32~4#槽,其中一槽硅片出现白斑超过50%,可以对该槽单独重新配液。工艺不正常状态42~4#槽,连续都出现白斑,可以对1#槽单独重新配液。(见下表)(见下表)槽位1#槽2-4#槽5#槽6#槽7#槽功能去损伤制绒漂洗喷淋去Na2SiO3时间270±30µm240±30µm230±30µm30min5min5min1min4min2min1min温度℃65±283±2常温常温常温槽位8#槽9#槽10#槽11#槽12#槽13、14#槽功能漂洗去金属离子漂洗喷淋慢拉烘干时间5min5min5min5min不使用不使用温度℃常温常温常温常温不使用不使用注意:使用小片盒硅片12、13、14#槽不使用。。(见下表)()~11#槽工艺与使用小片盒清洗硅片腐