10万级洁净区环境监测要求监测项目技术要求监测方法监测频次温度18~28OC(十万级、三十万级)JGJ71-901次/班湿度45~65%(十万级、三十万级)JGJ71-901次/班换气次数十万级≥15次/小时JGJ71-901次/月静压差≥5Pa(不同洁净级别洁净室(区)之间)JGJ71-901次/月≥10Pa(洁净室(区)与室外)≥5Pa(洁净室(区)之间与非洁净室(区))尘埃粒子≥≥5μmGB/T16292-19961次/季十万级≤个/m3≤20000个/m3浮游菌十万级≤500个/m3GB/T16293-19961次/季沉降菌十万级≤10个/皿GB/T16294-19961次/周100级和10000级洁净区环境监测要求监测项目监测仪器技术要求测量位置监测频次100级10000级温度(℃)温湿度计18-2818-28洁净区各室1次/班湿度(%)温湿度计45-6545-65洁净区各室1次/班风速(m/s)风速仪水平层流≥04 ——送风口1次/月垂直层流≥(次/h)——≥20静压差(Pa)微压差计≥5≥5不同洁净区之间11次/月≥10≥10洁净区与室外尘埃粒子数(个/M3)尘埃粒子计数器≥≤3500≥≤35000洁净区内关键操作点及100级超净工作台1次/季≥5um0≥5um≤2000沉降菌落数(个/皿)培养皿≤1≤3洁净区内关键操作点1次/周浮游菌落数(个/㎥)浮游菌采集器≤5≤100洁净区内关键操作点及100级超净工作台1次/季
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