:是以波长极短的电子束作为照明源,用电子透镜聚焦成像的一种具有高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。四部分: 电子光学系统、电源系统、真空系统、操作控制系统透过样品的电子束强度,经过物镜聚焦放大在其平面上形成一幅反映这些信息的透射电子像,经过中间镜和投影镜进一步放大, 在荧光屏上得到三级放大的最终电子图像,还可将其记录在电子感光板或胶卷上。透镜电镜和普通光学显微镜的光路是相似的,如下图所示: 表表 6-2 6-2 光学显微镜与透射电镜的比较光学显微镜与透射电镜的比较照相底板照相底板照相底板照相底板像的记录像的记录较长较长较短较短焦长焦长较大较大较小较小景深景深< <1 1 0 0约约70 70 0 0物镜孔径角物镜孔径角 10 10 6 6× × 10 10 3 3× × 有效放大倍数有效放大倍数 ~ ~ 200nm 200nm 分辨本领分辨本领改变线圈电流或电改变线圈电流或电压压移动透镜移动透镜聚焦方法聚焦方法利用荧光屏利用荧光屏直接用眼直接用眼像的观察像的观察高度真空高度真空空气和玻璃空气和玻璃介质介质电子透镜电子透镜玻璃透镜玻璃透镜放大成象系统放大成象系统约约 10nm 10nm 厚的薄膜厚的薄膜 1mm 1mm 厚的载玻片厚的载玻片样本样本电子聚光镜电子聚光镜玻璃聚光镜玻璃聚光镜照明控制照明控制电子源电子源( (电子枪电子枪) ) 可见光可见光( (日光、电灯光日光、电灯光) ) 光源光源透射电镜透射电镜光学显微镜光学显微镜比较部分比较部分图为日立公司图为日立公司 H800 H800 透射电子透射电子显微镜显微镜( (镜筒镜筒) )高压系统高压系统真空系统真空系统控制系统控制系统
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