电子显微镜.ppt

电子显微镜
李 冰
1
整理ppt
电镜的主要结构
电子光学系统
真空系统
供电系统
2
整理ppt
1 . 电子光学系统
1）照明部分
（1）阴极：又称灯丝，~，因此，整个电子通道从电子
枪至照相底板盒都必须置于真空系统之内，一般真空
度为 毫米汞柱。
10
整理ppt
3 . 供电系统
透射电镜需要两部分电源：一是供给电子枪的高压部
分，二是供给电磁透镜的低压稳流部分。
电源的稳定性是电镜性能好坏的一个极为重要的标志。
所以，对供电系统的主要要求是产生高稳定的加速电压和
各透镜的激磁电流。
近代仪器除了上述电源部分外，尚有自动操作
程序控制系统和数据处理的计算机系统。
11
整理ppt
目前，风行于世界的大型电镜，分辨本领为2~3 埃，电压为100～500kV，放大倍数50~1200000倍。
由于材料研究强调综合分析，电镜逐渐增加了一些其它专门仪器附件，如扫描电镜、扫描透射电镜、X射线能谱仪、电子能损分析等有关附件，使其成为微观形貌观察、晶体结构分析和成分分析的综合性仪器，即分析电镜。它们能同时提供试样的有关附加信息。
12
整理ppt
日本日立公司H－700
电子显微镜，配有双倾台
，并带有7010扫描附件和
EDAX9100能谱。该仪器
不但适合于医学、化学、
微生物等方面的研究，由
于加速电压高，更适合于
金属材料、矿物及高分子
材料的观察与结构分析，
并能配合能谱进行微区成
份分析。
●   分 辨 率：●   加速电压：75KV－200KV●   放大倍数：25万倍●   能 谱 仪：EDAX－9100●   扫描附件：S7010
13
整理ppt
CM200-FEG场发射枪电镜
JEM-2010透射电镜
加速电压200KVLaB6灯丝点分辨率 Å
加速电压20KV、40KV、80KV、
160KV、200KV可连续设置加速电压热场发射枪晶格分辨率 Å点分辨率 Å最小电子束直径1nm能量分辨率约1ev倾转角度α=±20度        β=±25度
14
整理ppt
JEM-2010透射电镜
加速电压200KVLaB6灯丝点分辨率 Å
EM420透射电子显微镜
加速电压20KV、40KV、60KV、
80KV、100KV、120KV晶格分辨率 Å点分辨率 Å最小电子束直径约2nm倾转角度α=±60度        β=±30度
15
整理ppt
Philips CM12透射电镜
加速电压20KV、40KV、60KV、80KV
、100KV、120KVLaB6或W灯丝晶格分辨率 Å点分辨率 Å最小电子束直径约2nm；倾转角度α=±20度        β=±25度
CEISS902电镜
加速电压50KV、80KVW灯丝顶插式样品台倾转角度α=±60度       转动4000
16
整理ppt
目前，电子显微镜技术（electron microscopy)已成为研究机体微细结构的重要手段。常用的有透射电镜（transmission electron microscope，TEM）和扫描电子显微镜（scanning electron microscope,SEM）。
与光镜相比，电镜用电子束代替了可见光，用电磁透镜代替了光学透镜，并使用荧光屏将肉眼不可见电子束成像。
电子显微镜的成像原理
17
整理ppt
光源
中间象
物镜
试样
聚光镜
目镜
毛玻璃
电子镜
聚光镜
试样
物镜
中间象
投影镜
观察屏
照相底板
照相底板
光学显微镜和电镜光路图比较
18
整理ppt
1、透射电子显微镜 (Transmission electron microscope, TEM)
在真空条件下，电子束经高压加速后，穿透样品时形成散射电子和透射电子，它们在电磁透镜的作用下在荧光屏上成像。
电子束投射到样品时，可随组织构成成分的密度不同而发生相应的电子发射，如电子束投射到质量大的结构时，电子被散射的多，因此投射到荧光屏上的电子少而呈暗像，电子照片上则呈黑色。称电子密度高（electron dense）。反之，则称为电子密度低（electron lucent）。
19
整理ppt
20
整理ppt
显微镜
分辨本领
光源
透镜
真空