集成电路设计课程设计总结.doc

集成电路设计课程设计总结.doc(xin)集成电路设计_课程设计_总_结
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CCZU
数理学院电子科学与技术专业
8
刻孔
正胶
白
9
铝连线
正胶
黑
10
压焊块
正胶
黑
六、对位标记、对位次序、胖瘦标记、检测电阻设计对位标记：
对位次序：M2→M1M3→M1M4→M1M5→M1
M6→M1M7→M1M8→M7M9→M8M10→M9
胖瘦标记：
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检测电阻：
测试电阻用来检测N阱、P+、N+等掺杂浓度。通常可根据要求电阻的大小，
选择图形的方块数，并与铝块相连，以便测量。
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PMOS管调试
NMOS管调试
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七、版图设计（包括各次光刻版、对位标记、胖瘦标记、画片槽、
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调试管、检测电阻等）
N阱
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有源区
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