夹具的制作方法.docx

夹具的制作方法
夹具的制作方法
本发明的夹具包含一端与基板的电路图案接触，另一端与判断所述电路图案有无异常的检查部连接的探针及导引所述探针，设置在基台且所述基台在固定的状态下与所述探针垂直的方向改变位置，以所述改变位置将所述导引的所述探可以收容探针110。
[0030]为了反复的检查复数个基板210，块体单位130设置在固定的基台150上。设置在基台150的块体单位130也固定在同一位置。但是由于块体单位被固定很难对付基板210电路图案的公差。因此，构成本发明夹具的块体单位130在基台150被固定的情况下以垂直于探针的方向可以改变位置。以块体单位130的位置改变将块体单位130导引的探针110位置可以改变成电路图案的目标位置。
[0031]探针110以垂直电路图案的方向或是几乎垂直电路图案的方向可与电路图案接触。探针110是直接接触电路图案的因素，所以为了检查必须形成可靠的接触，同时在检查过程中不致使损伤电路图案的形成接触较好。为此探针Iio可以包含弹簧等的弹性部113。[0032]弹性部113可以具有多种形态。例如在探针110可以设置弹簧，或探针110本身为弹性体。后者的情形可以利用直线或曲线形态的线(wire)探针110。
[0033]如前所述根据高集成化、小型化/微细化的电路图案的趋势，探针110要接触的电路图案的宽等以非常小的方向被设计生产。这种小型化/微细化使得在基板210的生产过程中无法控制地产生的公差达到在检查过程中成问题的水准。这种趋势往后更加加速化，因此考量公差需要配置探针110以便可靠地接触电路图案。探针110的配置可由导引探针110的块体单位130来决定。
[0034]尤其由于公差成为问题的部分是电路图案对探针110的轴方向具有垂直方向(图1的Xy平面方向)公差的情形。因此，构成本发明夹具的块体单位130在与探针110的轴方向垂直的方向可以改变位置。作为以垂直于探针110的方向改变块体单位130位置的方案，可以改变设置块体单位130的基台150位置或直接改变块体单位130的位置。连接齿轮、皮带的基台150的位置改变由于齿轮、皮带等的连接具有公差不符合本发明的目的。
[0035]因此，探针110的位置改变通过块体单位130的位置改变来进行较好。块体单位130也可能具有公差，但相较于基台150可以进行更可靠的位置改变。
[0036]公差不会在电路基板210的所有电路以同样的方向、同样的数值产生。例如部分区段在原来的探针110位置检查较好，其它区段则考量公差在变更的探针110位置检查较好。由此，整个探针Iio以同一方向改变位置根据电路基板210的情况可能不太合适。为了对付这种情况将块体单位130分成复数个块体且各块体可以相互独立地改变位置。图1揭示块体单位130分成3个块体的状态。
[0037]探针110可以包含一端接触基板210的第I探针111、一端与第I探针111的另一端接触且另一端连接检查部的第2探针112。
[0038]块体单位130可以包含由第I探针111贯穿且以垂直第I探针111的方向能改变位置的锁块体131、收容第2探针且相对锁块体131固定的底板块体132。
[0039]在锁块体131形成由第I探针111贯穿的穿孔，在底板块体132形成由第2探针112贯穿的穿孔。这些穿孔决定相关电路图案的探针11